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陈肯乐
作品数:
2
被引量:8
H指数:1
供职机构:
北京大学
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
张锦文
北京大学
金玉丰
北京大学
周吉龙
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北京大学
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陈肯乐
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传媒
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传感技术学报
年份
2篇
2008
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微型MEMS皮拉尼计研究
被引量:8
2008年
介绍了一种用于检测真空密封腔体内真空度的器件——微型MEMS皮拉尼计。皮拉尼计是利用真空腔体内微小间隙间的热传导来检测真空度的[1]。本文设计了一种微型MEMS横向皮拉尼计,结构非常简单,并利用浓硼扩散和键合技术实现了该横向MEMS皮拉尼计,制造工艺仅需3张光刻版。其试验结果显示该皮拉尼计在10Pa~300Pa范围内热阻系数与真空度呈很好的线性关系。
周吉龙
陈肯乐
张锦文
金玉丰
关键词:
MEMS
真空封装
一种新型RF MEMS电容耦合式开关与可调谐滤波器的初步研究
开关是射频微电子机械系统中(RFMEMS)最基本的元件之一,由于其低插入损耗、高隔离度、高线性度、低静态功耗等特点而被广泛应用于无线通信领域中。随着系统中集成的开关数量越来越多,进一步降低单个开关的插入损耗成为研究热点。...
陈肯乐
关键词:
微电子设备
射频识别
开关电路
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