陈火耀
- 作品数：28 被引量：19H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信核科学技术更多>>
- 一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法
- 本发明提供一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法，将两种不同的平场光栅G1和G2做在同一基底上，形成一个整体的并联平场光栅。该光栅工作在掠入射条件下，适用于软X射线波段。根据凹面光栅的像差理论，优化G1和G2的...
- 刘正坤王庆博陈火耀邱克强付绍军
- 文献传递
- 电子束光刻-近场全息法制作平焦场光栅的误差分析及补偿方法被引量：1
- 2018年
- 在激光等离子体诊断等领域中,以平焦场光栅为核心器件的软X射线光谱仪发挥着重要作用。利用电子束光刻-近场全息法制作的平焦场光栅兼具电子束光刻线密度变化灵活,以及全息光栅低杂散光、抑制高次谐波等的特点。采用光线追迹方法分析电子束光刻-近场全息法制作平焦场光栅的主要制作误差对其光谱成像特性的影响。结果表明:电子束光刻制备熔石英掩模和近场全息图形转移过程的制作误差均会导致谱线展宽;以目前应用较多的软X射线平焦场光栅(中心线密度为2400line/mm、工作波段在0.8~6.0nm)为例,当熔石英掩模在光栅矢量方向的长度为50mm时,电子束光刻分区数目应保证在1500以上;熔石英掩模线密度偏差引入的谱线展宽可以通过调整近场全息制作参数来消除;确定了近场全息中的两个主要影响因素——熔石英掩模与光栅基底的间距和夹角;近场全息中各误差因素之间有相互补偿的效果,故除了尽可能消除制备过程中的每一种制作误差外,也可以通过优化不同误差之间的分配来降低制备误差。本研究对优化电子束直写掩模策略、降低掩模制作难度、设计和调整近场全息光路有重要帮助。
- 林达奎陈火耀刘正坤刘颖
- 关键词：光栅电子束光刻谱线宽度
- 抑制垂直光栅矢量方向次生干扰的近场全息动态曝光方法
- 本发明涉及抑制位相掩模垂直光栅矢量方向次生干扰的近场全息动态曝光方法，属于一种衍射光栅的制备技术领域，即在近场全息曝光时，通过在垂直于光栅矢量方向上的微位移抑制位相掩模初始的垂直于光栅矢量方向的次生干扰图形，降低制作光栅...
- 刘颖林达奎陈火耀刘正坤邱克强徐向东洪义麟付绍军
- 文献传递
- 软X射线全息平焦场光栅的研制
- 在核聚变、天体物理和材料研究等领域，极紫外/软X射线光谱特征分析是其研究的重要手段，极紫外/软X射线掠入射平焦场光栅谱仪由于能耦合平面探测器，获得具有时空分辨的光谱分析，目前已被广泛采用。极紫外/软X射线平焦场光栅是其核...
- 陈火耀
- 一种平面基底变间距光栅的线密度测试系统及测试方法
- 本申请公开了一种平面基底变间距光栅的线密度测试系统及测试方法，该线密度测试系统与传统自准直衍射法相比不存在偏心问题，与双波长消偏心衍射法相比只需单波长，不存在双波长对准问题，与单波长多级次衍射法相比可以测试高线密度光栅，...
- 刘正坤林达奎刘颖陈火耀洪义麟
- 文献传递
- 一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法
- 本发明提出一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法，利用光栅分区的方法，在不改变光谱仪结构的前提下分别设计各分区的槽型参数，改变各分区的衍射效率，从而进一步修正像差来提高光谱分辨率。本发明的优点为：光栅制作中沿垂直于...
- 刘正坤陈火耀王庆博刘颖付绍军
- 文献传递
- 一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法
- 本发明提出一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法，利用光栅分区的方法，在不改变光谱仪结构的前提下分别设计各分区的槽型参数，改变各分区的衍射效率，从而进一步修正像差来提高光谱分辨率。本发明的优点为：光栅制作中沿垂直于...
- 刘正坤陈火耀王庆博刘颖付绍军
- 文献传递
- 极紫外同步辐射光表征离子束诱导的纳米波纹
- 2022年
- 离子轰击固体表面诱导的纳米结构具有小周期(10~100 nm)、大面积、准周期的特点。利用氩离子轰击在减反膜上制备出横向特征尺寸在100 nm附近、横向周期性与纵向连续性逐步明显的准周期纳米波纹结构。为了增大表征面积,利用极紫外散射法表征了上述自组织纳米波纹的形貌特征。结果显示,面内和锥角模式的极紫外散射法所获得的样品横向和纵向形貌特征,均能够与原子力扫描显微镜所获得的样品形貌特征相对应,这初步说明了此方法表征准周期纳米波纹结构基本形貌特征的可行性,为后续的定量分析提供基础。同时,利用极紫外同步辐射光表征的自组织纳米结构面积达到了mm^(2)量级,将合肥光源计量光束线的表征范围拓展到自组织纳米结构,这也为未来探索极紫外光刻掩模的散射表征等研究提供参考。
- 李金昱杨高元臧昊峰陈火耀霍同林周洪军鲁拥华刘颖洪义麟付绍军
- 关键词：极紫外离子轰击准周期
- 一种用于强激光系统中光束采样光栅的增透减反方法
- 一种用于强激光系统中光束采样光栅的增透减反方法，首先利用全息离子束刻蚀方法在熔石英基底上制作亚波长光栅模板；在亚波长光栅模板上滴少许PUA紫外压印胶，然后将PET薄膜盖到PUA上，利用紫外光照射PUA使其固化，将固化后的...
- 陈火耀刘颖梁举曦王宇刘正坤邱克强徐向东洪义麟付绍军
- 一种变间距光栅掩模线密度分布可控微调方法
- 本发明公开了一种变间距光栅掩模线密度分布可控微调方法，解决常规近场全息方法不能直接复制及微调掩模线密度及其空间分布的问题。通过微调近场全息曝光参数和引入过渡掩模来实现线密度与初始掩模线密度分布相同或呈一定偏移的一系列线密...
- 刘颖林达奎陈火耀刘正坤洪义麟
