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裴召辉
作品数:
19
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供职机构:
清华大学
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相关领域:
电子电信
文化科学
轻工技术与工程
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合作作者
何永勇
清华大学
路新春
清华大学
梅赫赓
清华大学
雒建斌
清华大学
王同庆
清华大学
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轻工技术与工...
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文化科学
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机构
19篇
清华大学
作者
19篇
路新春
19篇
何永勇
19篇
裴召辉
13篇
梅赫赓
11篇
雒建斌
8篇
许振杰
8篇
沈攀
8篇
王同庆
5篇
赵德文
4篇
张连清
4篇
郭振宇
3篇
徐海滨
3篇
黄雅婷
3篇
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1篇
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1篇
孟永钢
1篇
刘宇宏
1篇
赵乾
1篇
李昆
1篇
田芳馨
年份
1篇
2020
2篇
2016
1篇
2015
5篇
2013
4篇
2012
6篇
2011
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19
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用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置。所述用于晶圆的刷洗装置包括:用于支撑晶圆的支撑件;第一毛刷和第二毛刷,所述第一毛刷和所述第二毛刷相对地且间隔开地设置以分别用于刷洗所述晶圆的两个表面;和丝杠组件,所述丝杠组件与所述第一...
路新春
裴召辉
何永勇
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晶圆清洗支撑轮组件及晶圆竖直清洗装置
本实用新型提供一种晶圆清洗支撑轮组件晶圆竖直清洗装置,包括转轴、支撑轮、第一定位件、第二定位件和弹性件;支撑轮的外周面上设置有周向切槽,支撑轮设在转轴的一端以随转轴旋转且支撑轮沿转轴的轴向在预定区段内可移动;第一定位件安...
路新春
裴召辉
梅赫赓
何永勇
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化学机械抛光机的抛光头支架
本实用新型公开一种化学机械抛光机的抛光头支架,包括:水平基板,所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹槽,所述凹槽在水平基板的纵向一端敞开且朝向水平纵向另一端延伸;和支撑侧板,所述支撑侧板分别与水平基板相连且分别位于所述...
路新春
许振杰
何永勇
王同庆
沈攀
赵德文
梅赫赓
张连清
裴召辉
雒建斌
文献传递
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置,包括机架;支撑部件,所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆;清洗液供给单元,所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液;以及一对刷子,所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春
梅赫赓
裴召辉
黄雅婷
何永勇
雒建斌
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化学机械抛光机及具有它的化学机械抛光设备
本发明公开一种化学机械抛光机,包括:工作平台,抛光盘,修整器和抛光液输送装置,装卸平台,抛光头,机械手,和抛光头支架,所述抛光头支架安装在工作平台上表面上且包括水平基板和支撑侧板,所述水平基板形成有在其厚度方向上贯通的凹...
路新春
许振杰
何永勇
王同庆
沈攀
赵德文
梅赫赓
张连清
裴召辉
雒建斌
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用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法,所述用于晶圆的刷洗装置包括:机架;第一和第二毛刷,所述第一和第二毛刷相对地且间隔开地安装在所述机架上以分别用于刷洗晶圆的两侧表面;和第一和第二清洗液供给单元,所述第一和第二清...
路新春
梅赫赓
裴召辉
何永勇
文献传递
用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置,所述用于晶圆的刷洗装置包括:机架;支撑件,支撑件设在机架上以用于使晶圆可旋转地支撑于支撑件上;以及第一和第二毛刷组件,第一和第二毛刷组件相对地且间隔开地安装在机架上以分别用于刷洗晶圆的...
路新春
裴召辉
梅赫赓
何永勇
化学机械抛光设备
本发明公开了一种化学机械抛光设备。所述化学机械抛光设备包括:用于存放晶圆的晶盒装载装置;用于放置晶圆的晶圆过渡装置;第一机械手;化学机械抛光机;晶圆清洗装置,晶圆清洗装置包括具有第一容纳腔的第一本体、设在第一容纳腔内第一...
路新春
何永勇
沈攀
许振杰
王同庆
裴召辉
徐海滨
张莉瑶
郭振宇
雒建斌
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一种用于晶圆的刷洗装置
本实用新型公开了一种用于晶圆的刷洗装置,包括机架;支撑部件,所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆;清洗液供给单元,所述清洗液供给单元设置在机架上用于向晶圆的表面施加清洗液;以及一对刷子,所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春
梅赫赓
裴召辉
黄雅婷
何永勇
雒建斌
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用于晶圆的刷洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置,包括机架;支撑部件,所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆;清洗液供给单元,所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液;以及一对刷子,所述一对刷子包括刷子主体和设置于...
路新春
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裴召辉
黄雅婷
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