罗文博
- 作品数:189 被引量:59H指数:4
- 供职机构:电子科技大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划工业与信息化部工业与信息化部电子信息产业发展基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 不同波形电压刺激下单晶LiNbO_(3)薄膜忆阻器的电阻可塑性研究
- 2023年
- 随着人工智能在物联网中的应用,对于传感器端的高性能神经网络边缘计算需求日益迫切。忆阻器被认为是传感器端神经网络边缘计算应用中最具潜力的核心器件。由于传感器的输出信号具有不同的电压波形,故设计了不同的脉冲方案模拟不同的传感信号,基于单晶LiNbO_(3)薄膜忆阻器,研究了不同波形的电压刺激(方波、正弦波、三角波)对电阻可塑性的变化范围、线性度等的影响规律。在保持电压幅值和积分面积相同的情况下,研究了在三种不同波形电压刺激下的增强和抑制过程。在增强过程中,方波刺激下的电导变化幅度最大,在幅值为6 V的电压刺激下可达72 nS,正弦波次之,三角波最小(在幅值为6 V的电压刺激下仅为42 nS);而三角波刺激下的线性度最高,正弦波次之,方波的最低。测试分析可知这些差异主要是由三种波形超过特定阈值的积分面积不同所引起的。而在抑制过程中均观察到了电导突变现象,研究中通过幅值渐变的脉冲序列对电导突变进行了抑制。
- 颜昊潘忻强谢琴罗文博吴传贵
- 关键词:传感器电压波形
- 图形化单晶薄膜制备方法、图形化单晶薄膜及谐振器
- 本发明涉及单晶薄膜制备技术领域,尤其是涉及一种图形化单晶薄膜制备方法、图形化单晶薄膜及谐振器;包括如下步骤:从压电单晶晶圆下表面注入高能量离子,形成损伤层,得到损伤的压电单晶晶圆;在损伤的压电单晶晶圆的下表面对单晶薄膜层...
- 罗文博简珂吴传贵帅垚
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- 一种薄膜体声波谐振器
- 本发明目的在于提供一种薄膜体声波谐振器,通过键合层制备结合布拉格反射层和空腔结构的体声波谐振器,以解决薄膜体声波谐振器难以同时获得较大的结构强度和较好声学反射效果的技术问题;其结构包括:自上而下依次设置的上电极、压电层和...
- 帅垚王晓学吴传贵罗文博
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- 拼接式小尺寸单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器
- 本发明涉及单晶薄膜制备技术领域,尤其是涉及一种拼接式小尺寸单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器;包括制备步骤:选择至少两个小尺寸单晶晶圆,在各小尺寸单晶晶圆的下表面注入高能量离子;在衬底的上表面划分出与各小尺寸单晶晶圆匹...
- 罗文博吴传贵帅垚
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- 一种离子注入剥离单晶薄膜的表面处理方法
- 本发明属于单晶薄膜的工艺领域,具体涉及一种离子注入剥离单晶薄膜的表面处理方法。本发明的离子注入剥离单晶薄膜的表面处理方法,针对离子注入剥离技术制备的单晶薄膜,选择氩离子刻蚀精准去除表面的损伤层;此外,针对去除损伤层后薄膜...
- 罗文博方远苹帅垚吴传贵张万里
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- 脉冲激光沉积金红石相TiO2薄膜的研究
- 本文利用脉冲激光沉积技术在六方纤锌矿结构的蓝宝石衬底上制备了TiO2薄膜,分别研究了沉积温度、氧分压对薄膜晶相的影响。采用X-射线衍射仪(XRD)表征薄膜的晶体微观结构和原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌,并利用高...
- 陈竑朱俊罗文博张鹰李言荣
- 关键词:激光沉积
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- 微桥结构PZT厚膜红外探测器研究
- 2011年
- 利用KOH溶液腐蚀结合SF6气体干法刻蚀工艺制备了锆钛酸铅(PbZr0.3Ti0.7O3,PZT)厚膜热释电红外探测器,得到了器件Si基背面完全悬空的微桥绝热结构。使用由斩波器调制的黑体辐射,测试了探测器在低频段的电压响应率、噪声等效功率和探测率等参数。结果表明,探测器在调制频率为5.3 Hz时的电压响应率约为4.5×102V/W;在调制频率为167.3 Hz时,其探测率达7.5×108 cm.Hz1/2/W;PZT厚膜探测器的热时间常数为51 ms,与PZT陶瓷器件相比小约一个数量级,有利于其在高频响应方面的应用。
- 曹家强吴传贵彭强祥罗文博张万里唐治军
- 关键词:PZT厚膜微桥结构探测率
- 单晶薄膜型体声波谐振器的优化方法及谐振器
- 本发明涉及单晶薄膜型体声波谐振器制备技术领域,尤其是涉及一种单晶薄膜型体声波谐振器的优化方法及谐振器;本发明的目的在于提供一种单晶薄膜型体声波谐振器的优化方法及谐振器,通过单晶薄膜型体声波谐振器的优化方法制得的谐振器的设...
- 吴传贵帅垚罗文博
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- BaTiO_3/Si界面扩散与控制方法研究被引量:3
- 2005年
- 利用激光分子束外延(LMBE)方法在Si(100)基片上直接生长BaTiO3(BTO)铁电薄膜。通过俄歇电子能谱(AES),X光电子能谱(XPS)等分析手段系统研究了在Si基片上直接生长BTO铁电薄膜过程中的界面扩散现象。根据研究得到的BTO/Si界面扩散规律,采用一种新型的“温度梯度调制生长方法”减小、抑制BTO/Si界面互扩散行为,实现了BTO铁电薄膜在Si基片上的选择性择优定向生长,为在Si基片上制备具有原子级平整度的择优单一取向的BTO铁电薄膜奠定了基础。
- 罗文博张鹰李金隆朱俊艾万勇李言荣
- 关键词:钛酸钡硅俄歇电子能谱X光电子能谱
- 基于差分吸收检测技术的非分散红外CO_(2)呼吸气体传感器被引量:14
- 2021年
- 采用非分散红外(non-dispersive infrared,NDIR)气体传感器实时检测呼吸气体中的CO_(2)气体浓度,进而反映人体运动机能和代谢功能等身体状态,可以满足人类日益增强的对自身健康状况进行了解的需求。利用电调制微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)光源和双通道热释电传感器分别作为红外光源和探测器,采用气室结构设计和压电微泵相结合的方法为传感器提供稳定的气体流速,设计出红外呼吸CO2气体传感器。通过测量不同CO_(2)标准气体浓度下热释电传感器参考通道和测量通道的电压比值进行传感器标定,获得了在室温下、检测量程0%~8%内,绝对误差小于0.5%,相对误差3%,系统响应时间小于1.5 s的传感器,提高了基于NDIR气体传感器检测呼吸气体的抗干扰能力,可望满足运动机能和代谢功能检测等应用对CO_(2)气体监测的需求。
- 袁博袁宇鹏张祖伟张祖伟黄诗田杨靖张开盛罗文博
- 关键词:气体传感器压电微泵差分检测