杨建平
- 作品数：42 被引量：138H指数：6
- 供职机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金真空低温技术与物理国家级重点实验室基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
- PtSi红外探测器材料制备技术
- 2000年
- 介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等 Pt Si薄膜的制备方法及应用进展。着重介绍了脉冲激光沉积和激光分子束外延技术的原理及特点。
- 李美成蔡伟王中赵连城陈学康杨建平王菁吴敢
- 关键词：红外探测器PTSI
- 大面积三维激光刻蚀技术研究
- 为了解决大面积曲面表面金属薄膜图形的精确定位及精密成型的技术瓶颈,研究开发了大面积三维激光刻蚀技术。大面积三维激光刻蚀技术利用短脉冲高峰值功率激光进行材料表面物质的精密去除,并具有复杂三维曲面加工的能力,实现跨尺度微米级...
- 吴敢杨建平王瑞曹生珠陈学康
- 一种天线反射器双面金属薄膜图形整体精确定位方法
- 本发明公开了一种天线反射器双面金属薄膜图形整体精确定位方法，通过在反射器裙边位置制备正反双面一体化靶标，从而避免或减小由于反射器正反两面靶标自身精度误差带来的影响；并将CCD可视放大辅助定位技术应用于天线反射器激光刻蚀，...
- 尚凯文王瑞吴敢曹生珠魏广杨建平骆水莲赵栋才格桑顿珠张延帅
- 文献传递
- 微波化学气相沉积中气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响被引量：5
- 2007年
- 研究了微波化学气相沉积中沉积气压对金刚石薄膜生长速率和质量的影响.研究表明,金刚石薄膜的生长速率随沉积气压的提高而增大,生长速率与沉积气压为线性关系.在高沉积气压下生长的金刚石薄膜晶形完整,拉曼谱测量可得到锐利的金刚石相的峰,但电压-电流测量表明,随着制备时沉积气压的提高,金刚石薄膜的暗电流增大,膜的电学质量下降.
- 李晓红郭晚土陈学康吴敢杨建平王瑞曹生珠余荣
- 关键词：金刚石薄膜生长速率
- Tedlar复合材料表面飞秒激光刻蚀铝薄膜技术研究被引量：3
- 2021年
- 研究不同的工艺参数对Tedlar复合材料-铝薄膜(厚度为2μm)表面形貌的影响,理论优化得到合理的工艺参数。研究结果表明,单位时间内极多数量飞秒激光脉冲的积累作用,使得铝膜表面的作用区域温度在极短时间内快速升高并超过铝的熔点和气化温度,表面铝膜最终被刻蚀去除;当激光功率增大到5.5 W时,界面处温度达到了513.19 K,超过了基底Tedlar材料的最高使用温度,并在基底材料表面烧蚀产生点坑;当扫描速度从350 mm/s增大至600 mm/s时,出现的间断点尺寸从1.2μm增大到2.7μm,造成激光刻蚀加工尺寸误差高于10μm;在激光输出功率为4.0 W、光斑直径为40μm和扫描速率为500 mm/s的工艺条件下,铝膜图形激光刻蚀后尺寸精度及相对位置精度均优于10μm,满足技术要求。
- 尚凯文吴敢刘孝丽杨建平王瑞
- 关键词：激光光学工艺参数铝膜
- 微型星用可变辐射器被引量：2
- 2013年
- 微型星用热开关辐射器因其辐射能力可根据需要主动调节,整体采用薄膜和微结构制造,具有轻小、低功耗等的特点,非常适合于微/纳卫星热控应用。国外同类器件主要采用硅工艺制作,由于材料和工艺限制,器件热性能较差。本文提出了一种基于激光微加工技术,采用聚酰亚胺作为结构材料的微型星用热开关辐射器,介绍了器件的工作原理,对器件结构和热性能进行了理论分析,确定了影响器件性能的主要因素。然后采用紫外激光微加工、浸渍提拉法和磁控溅射薄膜沉积等技术制作了微型热开关辐射器样件,并进行了驱动电压和性能测试。测试结果表明,样件驱动电压为97 V,辐射功率调节量约为0.1W。最后对测试结果进行了分析和讨论,提出了改进方案。
- 曹生珠陈学康王熙元韩闯杨建平
- 关键词：热控制微加工纳卫星
- 在聚酰亚胺衬底上低温制备超薄热敏铂膜的研究
- 2008年
- 通过在聚合物衬底上制备热敏薄膜可以实现非平、屈曲物体表面温度的实时监控和测量。利用脉冲激光沉积技术在聚酰亚胺衬底上低温(250℃左右)制备了超薄铂热敏薄膜,其室温下的电阻温度系数为1.01×10-3/K。通过增加ZnO过渡层,可使铂薄膜的电阻温度系数增大为1.55×10-3/K。
- 余荣陈学康曹生珠杨建平吴敢王瑞尚凯文
- 关键词：脉冲激光沉积电阻温度系数
- 利用脉冲激光在硅表面进行选区掺杂和制作微结构
- 本文叙述我们利用脉冲激光在硅表面进行选区掺杂和制作微结构的研究结果.在适当的气氛中(例如 BCl,PCl)中利用纳秒级脉冲激光照射硅,可使其浅表层短暂的熔化。在此短暂的熔化期间汽相杂质 B 或 P 迅速扩散进入熔融硅层,...
- 陈学康李东辉吴敢杨建平
- 文献传递
- 一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法
- 本申请涉及一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法，所述装置包括：阳极圆柱、阴极圆柱、工件基座、扩散捕集管、激光窗口、真空沉积室，其中：所述激光窗口设置在最外层，两侧设置有所述真空沉积室；所述阳极圆柱与所述阴极圆柱...
- 陈学康王瑞吴敢王兰喜杨建平尚凯文魏广格桑顿珠
- 大面积三维激光刻蚀技术研究
- 为解决频率选择面等大面积曲面表面金属薄膜图形的精密成型的技术瓶颈，研究开发了大面积三维激光刻蚀技术，利用短脉冲高峰值功率激光进行材料表面物质的精密去除，并具有复杂三维曲面加工的能力，实现跨尺度微米级精度的刻蚀。精密刻蚀不...
- 吴敢杨建平王瑞曹生珠陈学康
- 关键词：频率选择面
