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杨伟伟
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
华东理工大学机械与动力工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
肖民
华东理工大学机械与动力工程学院
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杨伟伟
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机械设计与制...
年份
1篇
2012
共
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基于Matlab的划片机自动对准系统的研究
被引量:3
2012年
分析了划片机自动对准系统的构成和工作原理,提出模板匹配的简化算法,从边缘检测处理后的图像中提取晶圆切道,通过直线拟合得到晶圆切道中心线,完成晶圆的定位。Matlab的仿真与实验结果表明,该自动对准方案能有效地识别晶圆中的切道,确定切道的位置偏差,满足晶圆自动对准的技术要求。
杨伟伟
肖民
关键词:
划片机
图像处理
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