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杨伟伟

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:华东理工大学机械与动力工程学院更多>>
相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇图像
  • 1篇图像处理
  • 1篇划片
  • 1篇划片机
  • 1篇MATLAB

机构

  • 1篇华东理工大学

作者

  • 1篇肖民
  • 1篇杨伟伟

传媒

  • 1篇机械设计与制...

年份

  • 1篇2012
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于Matlab的划片机自动对准系统的研究被引量:3
2012年
分析了划片机自动对准系统的构成和工作原理,提出模板匹配的简化算法,从边缘检测处理后的图像中提取晶圆切道,通过直线拟合得到晶圆切道中心线,完成晶圆的定位。Matlab的仿真与实验结果表明,该自动对准方案能有效地识别晶圆中的切道,确定切道的位置偏差,满足晶圆自动对准的技术要求。
杨伟伟肖民
关键词:划片机图像处理
共1页<1>
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