李晖
- 作品数：4 被引量：23H指数：2
- 供职机构：清华大学材料科学与工程系更多>>
- 发文基金：北京市科技计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 声表面波器件的研究进展被引量：21
- 2001年
- 声表面波器件作为一种新型的电子器件 ,近年来引起了人们极大的关注 ,在科学研究领域有了较大的进展 ,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛。本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用 。
- 李晖潘峰
- 关键词：声表面波器件压电薄膜叉指换能器
- 高频声表面波材料及器件制备工艺的研究被引量：3
- 2003年
- 研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响。采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器。结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性。
- 李冬梅陈菁菁李晖潘峰
- 关键词：LINBO3
- 高频声表面波滤波材料及器件的研究
- 在128°Y X LiNbO基片上,采用纵向谐振耦合换能器结构设计并制备出920MHz高频声表面波滤波器,研究了换能器厚度对器件性能的影响,器件插入损耗小于12dB,带外抑制优于35dB。
- 潘峰李冬梅陈菁菁李晖
- 关键词：LINBO3
- 文献传递
- 声表面波滤波器纳米薄膜力学性能
- 在LiNbO3单晶上制备出中心频率920 MHz，3 dB带宽小于20MHz，插损11.8 dB的纵向耦合谐振器型滤波器。采用纳米划痕技术对作为叉指电极的磁控溅射铝膜在划痕测试中的弹性与塑性变形，与基体结合强度进行实验测...
- 高阳李晖
- 关键词：声表面波器件滤波器力学性能
- 文献传递
