2025年2月13日
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李垒
作品数:
3
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供职机构:
重庆邮电大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐华
重庆邮电大学
王巍
重庆邮电大学
罗元
重庆邮电大学
李博
重庆邮电大学
贾培发
重庆邮电大学
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微带
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1篇
介质
机构
3篇
重庆邮电大学
作者
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李垒
2篇
贾培发
2篇
李博
2篇
罗元
2篇
王巍
2篇
徐华
年份
1篇
2012
2篇
2011
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基于铁氧体的多层向导性介质微带线的理论研究
微带线型铁氧体微波器件在体积、制造工艺复杂度、材料成本等方面与传统的波导型器件相比都凸现出了很大的优势,因此这类器件的研究受到越来越多的重视。 由于铁氧体介质为各向异性介质,基于电磁场全波理论的谱域法和空域法对这类...
李垒
关键词:
传输矩阵
微带线
多层介质
文献传递
基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法
本发明提出了一种基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法,在等离子体刻蚀机的反应腔室外壁开一个窗口,安装内反射晶体,在窗口的一端安装ATR-FTIR光谱探针,另一端安装红外探测器,使傅里叶变换红外光谱探针发射...
王巍
李博
罗元
李垒
徐华
贾培发
文献传递
基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法
本发明提出了一种基于FTIR光谱监测的等离子体刻蚀机内部状态维护方法,在等离子体刻蚀机的反应腔室外壁开一个窗口,安装内反射晶体,在窗口的一端安装ATR-FTIR光谱探针,另一端安装红外探测器,使傅里叶变换红外光谱探针发射...
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