李丽萍
- 作品数：5 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 电真空器件同心度的测量方法
- 2016年
- 本文根据工具显微镜光学系统的特性,分析了引起影像法测量误差的因素,对电真空器件典型部件进行测量,验证了部件的装架准确度和部件焊接之后的对中准确度。一、测量装置主机——MM800/L测量显微镜,计算机,软件——数据测量及转换计算机操作系统。
- 王博锋周冠丽王蒙胡旭华李丽萍周健勇张永清
- 关键词：电真空器件测量方法计算机操作系统同心度工具显微镜光学系统
- 电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析被引量：8
- 2014年
- 采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律。结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,75,325℃;过程中排除气体主要为H2O,并含有少量CO和H2;进入烘烤排气保温区后,出气量较小,且基本保持恒定;烘烤排气结束后,残余气体含量微少,均低于1.2×10-5 Pa,为速调管提供了较好的高真空环境。
- 冯志良赵金玉李海涛李丽萍赵海鹏刘月清
- 关键词：速调管四极质谱仪残余气体
- 电真空器件氦质谱检漏技术中检漏平台和模具设计
- 基于氦质谱检漏技术，介绍了氦质谱检漏仪的结构和基本原理，设计了与氦质谱检漏仪匹配的检漏平台和辅助检漏平台。针对电真空器件不同的外部尺寸和内部结构的特点，设计了特殊结构的模具和通用模具。
- 王博锋李丽萍周健勇张波
- 关键词：氦质谱电真空器件
- 电真空器件的气密性检测被引量：1
- 2014年
- 基于氦质谱检漏仪的结构和原理,设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法,氦罩法测定总漏率,总漏率超出允许值后用喷吹法对漏孔准确定位。双回路复杂结构和复杂串联漏孔的定位,表明了氦质谱喷吹法在电真空器件检漏中的影响因素必须遵循的喷吹检漏原则。同时,温度、临时密封材料和设备材料吸附等因素会带来一定的测量误差。
- 李丽萍王博锋周健勇张波赵金玉张永清
- 关键词：氦质谱检漏喷吹法
- 电真空器件的气密性检测
- 基于氦质谱检漏仪的结构和原理，设计了适用于电真空器件气密性检测的检漏平台。电真空器件的结构特点及测量精度要求决定了氦罩法和喷吹法是电真空器件氦质谱检漏技术中最常用方法，氦罩法是对总漏率进行测定，而总漏率超出允许值后用喷吹...
- 李丽萍王博锋周健勇张波赵金玉
- 关键词：氦质谱检漏喷吹法
