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昌锡江

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：复旦大学更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体技术
  • 1篇低温等离子体
  • 1篇低温等离子体...
  • 1篇石英管
  • 1篇子体
  • 1篇微波系统
  • 1篇绿色照明
  • 1篇光谱
  • 1篇辐射光谱
  • 1篇表面波

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇昌锡江
  • 1篇李泽斌
  • 1篇吴忠航
  • 1篇何龙
  • 1篇梁荣庆

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
超高频波驱动的大面积平面表面波等离子体源的研究
随着等离子体科学研究的不断深化、发展，等离子体技术被应用于非常广泛的领域，特别是在集成电路制造、材料处理等方面，等离子体技术具有特别的优势，是不可或缺的。而等离子体源的研究是推动等离子体技术应用发展的关键因素。近年来，随...
昌锡江
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由石英管引导的表面波等离子体光源
本发明属于低温等离子体技术领域,具体为一种基于石英管引导的表面波等离子体光源。本发明采用石英管引导微波，通过表面波原理激发和电离石英管内工作气体产生等离子体,由等离子体的辐射光谱作为光源。该光源包括和由微型固态微波发生器...
吴忠航昌锡江何龙李泽斌梁荣庆
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