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张玉书
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1
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
夏君磊
中国科学院半导体研究所
李建光
中国科学院半导体研究所
王红杰
中国科学院半导体研究所
吴远大
中国科学院半导体研究所
郜定山
中国科学院半导体研究所
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2004
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火焰水解法制备的GeO<,2>-SiO<,2>薄膜中的光敏特性研究
采用FHD法在Si片上淀积GeO<,2>-SiO<,2>薄膜,经过高压掺氢处理以后,用KrF准分子激光脉冲进行辐照,研究其光敏特性.利用可变角椭偏仪(VASE)分析了光照前后薄膜的折射率和吸收损耗变化情况.
吴远大
夏君磊
郜定山
李建光
王红杰
胡雄伟
张玉书
关键词:
火焰水解法
光敏特性
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