张受业
- 作品数：12 被引量：22H指数：2
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- 相关领域：一般工业技术理学文化科学电气工程更多>>
- 一种原子层沉积装置
- 一种原子层沉积装置属于等离子体应用技术领域，涉及一种阵列式空心阴极结构的等离子体发生装置。该装置包括配气系统(1)、真空腔室(2)、阵列式空心阴极上电极(3)、平板式接地下电极(4)、抽真空系统(5)、电源系统(6)，所...
- 陈强杨丽珍王正铎桑利军刘忠伟张受业
- 文献传递
- PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究
- 杨莉张受业陈强
- PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究
- 为了降低PET瓶的透氧率,采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以CH为碳源,Ar为稀释气体,在PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon,简称DLC)薄膜作为阻隔层。采用傅里叶红外透...
- 杨莉张受业陈强
- 关键词：类金刚石膜微裂纹
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- 衬底材料对空心阴极沉积氢化微晶硅薄膜的影响
- 2014年
- 本文中，我们采用空心阴极等离子体增强化学气相沉积（MHC-PECVD）在玻璃、表面溅射氧化铟锡（ITO）的玻璃（玻璃＋ITO）以及表面溅射ITO的聚酰亚胺（PI＋ITO）柔性衬底上沉积氢化微晶硅（μc-Si：H），研究不同衬底材料对微晶硅薄膜性质的影响。我们发现在 PI＋ITO衬底上沉积薄膜的结晶率（Xc）最小，且结晶率最大值时的温度依赖沉底材料：对于 PI＋ITO 衬底来说，结晶率最大值时的温度为200℃，而对于玻璃和玻璃＋ITO 衬底来说，这个温度会在250℃－300℃之间浮动。我们认为PI＋ITO衬底上薄膜较低的结晶率与其较高的热膨胀系数（CTE）以及小分子和气体的释放有关。
- 葛腾陈玖香张受业施继龙陈强
- 关键词：微晶硅柔性衬底
- 多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积制备高晶化率微晶硅薄膜
- 本文采用多孔空心阴极等离子体增强化学气相沉积(HC-PECVD)技术,以二氯硅烷(SiH_2Cl_2)和氢气(H_2)分别作为硅源和还原剂制备微晶硅薄膜.通过傅里叶变换红外谱、拉曼散射谱和X射线衍射等表征方法研究了生长条...
- 陈玖香张受业陈强
- 关键词：空心阴极晶化率微晶硅薄膜
- 文献传递
- 一种等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜的方法
- 一种等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜的方法属于等离子体应用技术领域。本发明涉及一种采用空心阴极增强等离子体化学气相沉积工艺制备微晶硅薄膜的方法，尤其是利用微空心阴极阵列电极结构可以增加等离子体密度进而提高薄膜的沉积速率...
- 陈强杨丽珍王正铎刘忠伟张春梅张受业
- 文献传递
- 一种原子层沉积装置
- 一种原子层沉积装置属于等离子体应用技术领域，涉及一种阵列式空心阴极结构的等离子体发生装置。该装置包括配气系统(1)、真空腔室(2)、阵列式空心阴极上电极(3)、平板式接地下电极(4)、抽真空系统(5)、电源系统(6)，所...
- 陈强杨丽珍王正铎桑利军刘忠伟张受业
- PET瓶内镀DLC薄膜的结构、成分及其阻隔性研究被引量：8
- 2009年
- 为了降低PET瓶的透氧率,采用射频等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)技术,以C_2H_2为碳源,Ar为稀释气体,在PET瓶内制备类金刚石(Diamond-like Carbon,简称DLC)薄膜作为阻隔层。采用傅里叶红外透射光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和透氧测试(OTR)等手段对其进行结构、成分、形貌和阻隔性进行分析测试。结果表明,碳氢膜主要由sp^3杂化的碳氢化合物组成,薄膜阻氧性与sp^3杂化的碳氢化合物含量、膜厚和薄膜表面形貌有关。特别是采用增强(capacitively coupled plasma,CCP和inductively coupled plasma,ICP)放电等离子体源制备的类金刚石膜表面致密,均匀无裂纹,阻隔性明显提高。
- 杨莉张受业陈强
- 关键词：类金刚石膜微裂纹
- PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦学性能被引量：16
- 2009年
- 以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在有机薄膜PET和载玻片上制备了类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(Raman)分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;另外,还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验得到:FTIR、Raman谱图分析发现碳氢膜主要由sp2和sp3杂化的碳氢化合物呈层状堆积而成,其组分与沉积参数密切相关;同时,sp2和sp3杂化比例影响所制备薄膜的致密性、均匀性和耐磨性能。
- 杨莉陈强张受业
- 关键词：PECVD类金刚石膜
- 空心阴极等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜的研究
- 随着社会经济的不断发展,人类迫切需要改变能源结构,发展可再生、无污染、低成本的清洁能源。太阳能电池利用光伏效应可以直接将太阳能转化为电能,是最理想的新型能源之一。微晶硅薄膜作为一种高效率低成本的太阳能电池材料,成为当前这...
- 张受业
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜
- 文献传递
