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宋经纬

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中山大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇激光
  • 2篇雾化
  • 2篇激光光斑
  • 2篇激光加热
  • 2篇光斑
  • 2篇硅片
  • 2篇超声
  • 2篇超声雾化
  • 1篇设备价格
  • 1篇同轴
  • 1篇皮秒
  • 1篇皮秒激光
  • 1篇纳秒
  • 1篇纳秒激光
  • 1篇激光发射
  • 1篇激光扫描
  • 1篇光发射
  • 1篇硅片表面
  • 1篇掺杂
  • 1篇产品质量

机构

  • 3篇中山大学

作者

  • 3篇宋经纬
  • 2篇沈辉
  • 2篇白路
  • 2篇王学孟

传媒

  • 1篇第13届中国...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种光外同轴超声波喷雾激光掺杂系统
本发明公开了一种光外同轴超声波喷雾激光掺杂系统，包括机架，还包括激光发射头与用于喷射经超声雾化的掺杂源的超声雾化喷嘴，所述超声雾化喷嘴至少为一个且安装在所述机架上，所述激光发射头和所述超声雾化喷嘴靠近设置且均位于待加工硅...
沈辉宋经纬白路王学孟
文献传递
采用皮秒激光与纳秒激光实现硅片钻孔的对比分析
激光具有方向性好、能量集中、非接触性等优点,是现代精细加工的重要工具之一.激光钻孔是制作高效MWT电池的关键技术.由于不同脉冲长度的激光与硅片作用的效果不同,本文采用皮秒激光和纳秒激光分别实现硅片钻孔,分析两种激光打孔的...
宋经纬王学孟陈树拳梁宗存沈辉
关键词：产品质量
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一种光外同轴超声波喷雾激光掺杂系统
本发明公开了一种光外同轴超声波喷雾激光掺杂系统，包括机架，还包括激光发射头与用于喷射经超声雾化的掺杂源的超声雾化喷嘴，所述超声雾化喷嘴至少为一个且安装在所述机架上，所述激光发射头和所述超声雾化喷嘴靠近设置且均位于待加工硅...
沈辉宋经纬白路王学孟
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