宋巧丽
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学天文地球一般工业技术更多>>
- 用尘埃等离子体沉积碳化硅薄膜的研究
- 本文用一套生成尘埃等离子体的设备在常温下沉积出碳化硅薄膜,工作气体为硅烷和乙烯,载气为氩气,沉积出的碳化硅薄膜为多晶膜;同时我们进行了用脉冲调制射频等离子体沉积碳化硅薄膜的初步实验,比较了不同调制频率对沉积
- 张鹏云吴静宋巧丽王德真
- 关键词：尘埃等离子体碳化硅薄膜常温
- 文献传递
- 射频等离子体中尘埃粒子和尘埃空洞的实验研究
- 带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室等离子体装置中和材料等离子体加工工艺中.近年来,特别是在人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加工质量的关键问题后,关于尘埃粒子在等离子体中的带电量、尘埃粒子在鞘层中的生长及其运动...
- 宋巧丽
- 文献传递
- 测量等离子体中尘埃颗粒电荷量的实验方法被引量：4
- 2004年
- 综述了国内外测量尘埃等离子体中尘埃颗粒所带平衡电荷量的实验方法。在文章的前一部分,重点介绍了几种间接测量方法,在文章的后一部分,给出了我们初步的实验结果。实验中,我们根据尘埃颗粒在鞘层中平衡位置处所受重力和电场力平衡mdg=QdE(Z0),从而求出尘埃颗粒所带的平衡电荷量为102e～105e,这一结果与其他研究者的结果符合得很好。
- 宋巧丽张鹏云王德真张家良李德君
- 关键词：尘埃等离子体电荷量电场
- 常温下采用射频等离子体法合成碳化硅膜
- 2005年
- 采用射频等离子体增强的气相沉积法,以硅烷和乙烯为原料,在常温下成功的合成了碳化硅薄膜。对于该条件下合成的碳化硅薄膜的结构特征,采用SEM、TEM、XRD、IR等手段进行了分析;分析结果表明我们的样品是以碳硅键为主的薄膜。
- 宋巧丽王德真张鹏云张家良
- 关键词：射频等离子体气相沉积
- 反应等离子体中尘埃空洞形成的实验研究被引量：8
- 2005年
- 利用气体合成(乙烯和硅烷,氩气是载气)的方法,产生尘埃粒子,并在此基础上研究了悬浮在射频等离子体鞘层上方的尘埃云及尘埃空洞.实验结果给出了尘埃云和尘埃空洞与射频功率和气压等参数的关系曲线.
- 吴静张鹏云宋巧丽张家良王德真
- 关键词：尘埃等离子体尘埃云等离子体鞘层射频功率
