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周顺

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 4篇晶圆
  • 3篇扭矩
  • 3篇活塞杆
  • 3篇缸体
  • 2篇运动控制
  • 2篇运动控制器
  • 2篇手爪
  • 2篇伺服
  • 2篇伺服驱动
  • 2篇伺服驱动器
  • 2篇气缸
  • 2篇驱动器
  • 2篇进气
  • 2篇控制器
  • 2篇化学机械抛光
  • 2篇机器人
  • 2篇机器人系统
  • 2篇机械抛光
  • 1篇药剂
  • 1篇兆声清洗

机构

  • 6篇清华大学

作者

  • 6篇路新春
  • 6篇何永勇
  • 6篇周顺
  • 5篇许振杰
  • 2篇沈攀
  • 2篇赵建伟
  • 1篇徐海滨
  • 1篇李冉

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种化学机械抛光传输机器人系统
本发明提出一种化学机械抛光传输机器人系统，包括：执行机构包括机器人本体和支撑装置，机器人本体包括爪、手爪翻转机构、小臂体、大臂体和套筒，支撑装置包括：直线导轨滑台和导轨丝杠；检测器用于检测执行机构的工作状态参数以生成检测...
路新春赵建伟何永勇周顺沈攀许振杰
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用于抛光头的气缸
本发明公开了一种用于抛光头的气缸。所述气缸包括缸体，缸体内具有腔室，缸体上设有第一和第二进气通道；活塞，活塞设在腔室内以将腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中第一进气通道与上子腔室连通且第二进气通道与下子腔室连通；和活塞杆...
路新春许振杰周顺何永勇
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一种化学机械抛光传输机器人系统
本发明提出一种化学机械抛光传输机器人系统，包括：执行机构包括机器人本体和支撑装置，机器人本体包括爪、手爪翻转机构、小臂体、大臂体和套筒，支撑装置包括：直线导轨滑台和导轨丝杠；检测器用于检测执行机构的工作状态参数以生成检测...
路新春赵建伟何永勇周顺沈攀许振杰
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用于抛光头的气缸
本发明公开了一种用于抛光头的气缸。所述气缸包括缸体，缸体内具有腔室，缸体上设有第一和第二进气通道；活塞，活塞设在腔室内以将腔室分隔为上子腔室和下子腔室，其中第一进气通道与上子腔室连通且第二进气通道与下子腔室连通；和活塞杆...
路新春许振杰周顺何永勇
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用于晶圆的兆声清洗装置
本发明公开了一种用于晶圆的兆声清洗装置。所述用于晶圆的兆声清洗装置包括：机架，所述机架内限定有容纳腔；支撑组件，所述支撑组件设在所述容纳腔内用于可旋转地支撑沿竖直方向定向的晶圆；第一兆声喷头和第二兆声喷头，所述第一兆声喷...
路新春徐海滨李冉周顺何永勇
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抛光头
本发明公开了一种抛光头。所述抛光头包括气缸、旋转基盘组件、固定盘组件、吸附盘组件和保持环组件。气缸包括：缸体，缸体内具有腔室，缸体上设有分别与腔室连通的第一和第二进气通道，第一和第二进气通道适于与气源相连；活塞，活塞设在...
路新春许振杰周顺何永勇
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