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周锋

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：江苏石油化工学院更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶凝胶
  • 1篇溶胶凝胶法
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电薄膜
  • 1篇退火
  • 1篇快速退火
  • 1篇PZT薄膜
  • 1篇PZT铁电薄...
  • 1篇SOL-GE...

机构

  • 1篇香港理工大学
  • 1篇江苏石油化工...

作者

  • 1篇陈王丽华
  • 1篇朱毅青
  • 1篇周锋
  • 1篇陈汉松
  • 1篇李坤

传媒

  • 1篇江苏石油化工...

年份

  • 1篇1997
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
快速退火Sol-Gel PZT铁电薄膜的性能研究被引量：3
1997年
报道了以乙酸铅、乙酸氧锆和钛酸正丁酯为原料，用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法，经多次旋转涂膜，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了PZT凝胶薄膜。用快速退火（RTA）作薄膜的热解和结晶热处理，制备了以（100）取向为主的PZT薄膜。用X射线衍射（XRD）和RT66A测试了膜的结晶取向、漏电流、电滞回线和抗疲劳性能等。结果表明，经RTA处理的溶胶凝胶法PZT膜具有良好的性能。
李坤李金华朱毅青周锋陈汉松罗志伟汤国英陈王丽华
关键词：PZT薄膜快速退火铁电薄膜溶胶凝胶法退火
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共1页<1>
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