您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 7篇中文专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 4篇激光调阻机
  • 4篇光刻
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇电阻
  • 2篇调焦
  • 2篇运动控制
  • 2篇运动控制器
  • 2篇设备维护
  • 2篇水平仪
  • 2篇探针
  • 2篇体积
  • 2篇平移
  • 2篇平仪
  • 2篇控制器
  • 2篇机械手
  • 2篇激光
  • 2篇工作台
  • 2篇薄膜电阻

机构

  • 7篇中国科学院长...

作者

  • 7篇吴玉斌
  • 6篇汤建华
  • 5篇孙继凤
  • 4篇张德龙
  • 4篇刘立峰
  • 3篇王洋
  • 2篇田兴志
  • 2篇王忠生
  • 1篇黄波
  • 1篇刘轩

年份

  • 1篇2012
  • 3篇2011
  • 3篇2010
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法
本发明涉及在对材料进行激光精密加工中的调焦方法,特别是一种激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法。是通过增加一精密位移台,辅以水平仪和高度尺,进行定量调整,通过观察光刻效果,实现焦面的快速精确调整,先通过调整螺栓使光学...
王忠生汤建华吴玉斌田兴志王洋
激光调阻机探针保护装置
本发明涉及对激光调阻机的改造,具体涉及一种激光调阻机探针保护装置,包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器,所述的继电器串联在运动控制器与光刻...
刘立峰孙继凤张德龙汤建华吴玉斌
文献传递
射频电子标签封装过程中的预点胶控制装置
本发明涉及一种射频电子标签封装过程中的预点胶控制装置,该装置的点胶机通过胶筒适配器与胶筒的进胶口连接,针头固定于胶筒下端的出胶口;反射式光电传感器安装固定在预点胶支架上,并且反射式光电传感器的出光口位置与针头的出口端处于...
孙继凤王洋黄波刘轩吴玉斌
文献传递
激光调阻机自动换片机构
本发明涉及用于加工电阻基板的激光调阻机,特别涉及一种激光调阻机自动换片机构,包括通过两个升降气缸分别设置在沿机架上部水平导轨滑动的滑块上的两个机械手和设置在机台上的一个光刻平台,所述的两个机械手通过两个运动方向垂直于所述...
刘立峰孙继凤张德龙汤建华吴玉斌
文献传递
激光调阻机探针保护装置
本发明涉及对激光调阻机的改造,具体涉及一种激光调阻机探针保护装置,包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器,所述的继电器串联在运动控制器与光刻...
刘立峰孙继凤张德龙汤建华吴玉斌
激光调阻机自动换片机构
本发明涉及用于加工电阻基板的激光调阻机,特别涉及一种激光调阻机自动换片机构,包括通过两个升降气缸分别设置在沿机架上部水平导轨滑动的滑块上的两个机械手和设置在机台上的光刻平台,所述的两个机械手通过两个运动方向垂直于所述滑块...
刘立峰孙继凤张德龙汤建华吴玉斌
激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法
本发明涉及在对材料进行激光精密加工中的调焦方法,特别是一种激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法。是通过增加一精密位移台,辅以水平仪和高度尺,进行定量调整,通过观察光刻效果,实现焦面的快速精确调整,先通过调整螺栓使光学...
王忠生汤建华吴玉斌田兴志王洋
文献传递
共1页<1>
聚类工具0