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吕宇皓
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华东理工大学化工学院化学工程联合国家重点实验室
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
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相关领域:
理学
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合作作者
王磊
华中科技大学光学与电子信息学院...
董会杰
武汉纺织大学化学与化工学院
辛忠
华东理工大学化工学院化学工程联...
陆馨
华东理工大学化工学院化学工程联...
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压印
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机构
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华中科技大学
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华东理工大学
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武汉纺织大学
作者
1篇
陆馨
1篇
吕宇皓
1篇
辛忠
1篇
董会杰
1篇
王磊
传媒
1篇
微纳电子技术
年份
1篇
2012
共
1
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新型含硅丙烯酸酯型纳米压印胶的研究与应用
被引量:1
2012年
纳米压印技术因其成本低、产量高的优点广受关注,而开发可适用于纳米压印的压印胶成为该工艺的关键。合成了一种硅含量高的单体三(三甲基硅氧基)甲基丙烯酰氧丙基硅烷(TRIS),制备了一种新型紫外纳米压印用含硅丙烯酸酯型压印胶,用四点弯曲实验机和接触角测试仪表征了压印胶与模板的黏附性能,研究了配方组成对模板黏附性能的影响,优化得到了抗黏附性能优异的配方。压印实验结果表明,该压印胶与模板分离时无粘连。AFM与SEM测试结果表明,压印胶上复制得到了线宽149 nm、周期298 nm、深宽比为1的纳米光栅图形,图形结构完整。
董会杰
辛忠
陆馨
吕宇皓
王磊
关键词:
紫外纳米压印
表面能
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