刘珍
- 作品数：6 被引量：23H指数：3
- 供职机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院更多>>
- 发文基金：安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 磁控溅射装置中电磁场分布及粒子运动行为的计算分析
- 磁控溅射已成为工业镀膜生产中最重要的技术之一,关于磁控溅射各个方面的研究很多.本文主要做两个方面的工作:分析优化磁控溅射中电磁场的分布和计算辉光放电初期粒子的运动情况.
文章对磁控溅射现有典型磁场设计和辉光放电...
- 刘珍
- 关键词：磁控溅射电磁场
- 文献传递
- 基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析被引量：12
- 2007年
- 溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,通过计算结果,对各种公式的使用范围进行了讨论。
- 陈明王君陈长琦刘珍
- AlCl3+NH3反应体系起始反应的量子化学计算
- 利用AlCl3+NH3反应体系制备氮化铝材料时,体系的初始反应可以按照三种不同路径进行.本文利用密度泛函理论的B3LYP方法,采用6-311++G基组对起始基元反应的反应物及产物进行几何构型优化;利用振动频率分析得到的相...
- 王君陈长琦朱武陈明刘珍
- 关键词：量子化学密度泛函理论
- 文献传递
- 磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算被引量：5
- 2007年
- 电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电磁场中的运动情况、空间分布,得到了磁控溅射电磁场区域分布、单个电子的运动轨迹及带电粒子在空间区域中位置分布。
- 王君刘珍陈长琦朱武陈明
- 关键词：磁控溅射
- 化学气相沉积反应研究的量子化学方法及应用被引量：1
- 2004年
- 量子化学方法在研究化学气相沉积反应体系的反应机理、动力学计算方面有很大的潜力。本文分析了化学气相沉积过程的特点,并对量子化学计算的主要方法进行介绍。在此基础上,针对气相和表面基元过程的量子化学研究现状进行总结和评述。
- 王君陈长琦朱武刘珍陈明
- 关键词：化学气相沉积反应机理量子化学
- AlCl3+NH3反应体系起始反应的量子化学计算
- 2005年
- 利用AlCl3+NH3反应体系制备氮化铝材料时,体系的初始反应可以按照三种不同路径进行.本文利用密度泛函理论的B3LYP方法,采用6-311++G基组对起始基元反应的反应物及产物进行几何构型优化;利用振动频率分析得到的相关热力学参数,对基元反应进行热动力学计算.通过比较,各计算结果和实验值及其他方法计算结果较好吻合.
- 王君陈长琦朱武陈明刘珍
- 关键词：量子化学气相反应氮化铝
