刘晓林
- 作品数：15 被引量：17H指数：2
- 供职机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>
- 一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜
- 本发明提供一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜，包括耦合镜组G1、折反镜组G2、准直镜组G3以及孔径光阑；所述折反镜组G2包括第四镜片L4及第五镜片L5，第四镜片L4和第五镜片L5之间距离的取值范围为49～53mm；...
- 李艳秋刘晓林
- 文献传递
- 一种实验型浸没式投影光刻物镜
- 本发明公开了一种实验型浸没式投影光刻物镜，通过采用较大的相对孔径的Schwarzschild折反结构和3片弯月透镜组成的折射透镜组，提高系统的数值孔径，并且可使数值孔径达到1.20，提高了光刻分辨率；通过采用弯月透镜来平...
- 李艳秋胡大伟刘晓林
- 文献传递
- 一种光学系统面形误差相互补偿优化方法
- 本发明提供一种光学系统面形误差相互补偿优化方法，具体步骤为：首先建立了不同光学表面类型的面形误差对光学系统的波像差影响的近似解析关系式，使得在优化光学元件的旋转角度时，不需考虑光学结构进行光线追击计算，而独立于光学结构直...
- 李艳秋刘晓林
- 文献传递
- 一种小视场光学系统面形误差相互补偿的自动优化方法
- 本发明小视场光学系统面形误差相互补偿的自动优化方法，具体步骤为：步骤101、获取小视场光学系统轴上视场点下，对应各光学表面通光口径内的面形误差；步骤102、根据三种类型光学表面解析关系式计算出轴上视场点对应每个光学表面的...
- 李艳秋刘晓林刘克
- 文献传递
- 超高数值孔径Schwarzschild投影光刻物镜的光学设计被引量：13
- 2013年
- 针对45nm及以下节点光刻相关技术的研究需求,确定了实验型投影光刻物镜的结构型式及设计指标。依据像差理论在非同心小遮拦的Schwarzschild反射系统中添加折射补偿镜组来进一步减小系统的中心遮拦,扩大像方数值孔径。设计了一套小中心遮拦,数值孔径为1.20的Schwarzschild折反式投影光刻物镜。设计结果表明,该投影光刻物镜工作带宽为100pm,像方视场为50μm,线中心遮拦比为13%,光学分辨力为80nm时(6240lp/mm)的系统调制传递函数大于0.45,全视场最大畸变为6.5nm,满足了45nm深紫外(DUV)浸没光刻实验平台对投影光刻物镜的需求。
- 胡大伟李艳秋刘晓林
- 关键词：光学设计投影光刻物镜SCHWARZSCHILD深紫外
- 一种全球面折反式光刻投影物镜
- 本发明提供一种全球面折反式光刻投影物镜，包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑，所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3，第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm～35mm；上述...
- 李艳秋刘晓林
- 文献传递
- 一种利用补偿面的光学系统像差补偿方法
- 本发明提供一种利用补偿面的光学系统像差补偿方法，具体步骤为：步骤一、在光学设计阶段，预设至少一个补偿面；步骤二、在系统加工阶段，对步骤一所设计的光学系统进行加工，其中补偿面不进行精细抛光；步骤三、仿真分析出光学系统的波像...
- 李艳秋刘晓林刘克
- 一种小视场光学系统面形误差相互补偿的自动优化方法
- 本发明小视场光学系统面形误差相互补偿的自动优化方法，具体步骤为：步骤101、获取小视场光学系统轴上视场点下，对应各光学表面通光口径内的面形误差；步骤102、根据三种类型光学表面解析关系式计算出轴上视场点对应每个光学表面的...
- 李艳秋刘晓林刘克
- 文献传递
- 浸没式ArF光刻物镜的光学设计及像差控制
- 超大数值孔径(Numerical Aperture,简称NA)浸没式氟化氩(Argon Fluoride,简称ArF)光刻机,结合多种新型分辨率增强技术(Resolution Enhancement Technology...
- 刘晓林
- 关键词：光学光刻投影物镜光学设计面形误差
- 文献传递
- 一种实验型浸没式投影光刻物镜
- 本发明公开了一种实验型浸没式投影光刻物镜，通过采用较大的相对孔径的Schwarzschild折反结构和3片弯月透镜组成的折射透镜组，提高系统的数值孔径，并且可使数值孔径达到1.20，提高了光刻分辨率；通过采用弯月透镜来平...
- 李艳秋胡大伟刘晓林
- 文献传递
