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刘兴华

作品数：55 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 50篇专利
  • 5篇期刊文章

领域

  • 16篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 31篇晶体管
  • 28篇晶体
  • 25篇有机半导体
  • 25篇有机场效应晶...
  • 25篇半导体
  • 25篇场效应
  • 25篇场效应晶体管
  • 20篇光刻
  • 17篇电极
  • 13篇有机半导体材...
  • 13篇半导体材料
  • 12篇真空蒸镀
  • 11篇刻蚀
  • 10篇沟道
  • 9篇绝缘衬底
  • 9篇衬底
  • 8篇电子束光刻
  • 7篇微电子
  • 7篇硅基
  • 7篇硅基底

机构

  • 55篇中国科学院微...
  • 2篇兰州大学
  • 1篇长春理工大学

作者

  • 55篇刘兴华
  • 55篇刘明
  • 51篇商立伟
  • 43篇刘舸
  • 30篇王宏
  • 29篇柳江
  • 18篇涂德钰
  • 10篇甄丽娟
  • 8篇姬濯宇
  • 6篇谢常青
  • 4篇朱效立
  • 3篇姜骥
  • 2篇徐德钰
  • 2篇岑专专
  • 2篇彭应全
  • 1篇徐熙平
  • 1篇王丛舜
  • 1篇付强

传媒

  • 1篇科学通报
  • 1篇光子学报
  • 1篇中国科学（E...
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 5篇2012
  • 15篇2011
  • 22篇2010
  • 10篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 55 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一次掩膜光刻同时定义有机薄膜晶体管源漏栅电极的方法
本发明公开了一种有机薄膜晶体管的制备方法，利用一次掩膜光刻同时定义出有机薄膜晶体管的源漏栅电极，包括：在衬底正面形成具有透光性的有机绝缘栅介质层；用保护卡具保护有机绝缘栅介质层，腐蚀衬底的背面至介质层镂空；在有机绝缘层正...
甄丽娟商立伟刘兴华刘明
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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采用有源层图形化制备有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种采用有源层图形化制备有机场效应晶体管的方法，包括：在绝缘衬底上涂敷光刻胶；光刻得到栅电极图形；蒸发或沉积金属电极材料；用丙酮剥离不需要的金薄膜得到器件的栅电极图形；在栅电极上蒸发或沉积一层绝缘介质层材料；...
刘舸刘明刘兴华商立伟王宏柳江
一种修饰有机场效应晶体管底电极的方法
本发明公开了一种修饰有机场效应晶体管底电极的方法，该方法包括：在导电基底上热氧化生长绝缘介质薄膜；在绝缘介质薄膜表面上旋涂抗蚀剂，光刻得到底电极胶图形；真空蒸镀一层有机半导体材料；通过电子束蒸发在有机半导体材料表面蒸镀一...
刘舸刘明刘兴华商立伟王宏柳江
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基于X射线曝光技术制作透光纳米压印模板的方法
本发明公开了一种基于X射线曝光技术制作透光纳米压印模板的方法，透明纳米压印模板是由电子束光刻制成纳米X射线曝光模版，该方法通过X射线曝光，将纳米图形转移到不导电的石英作为衬底的光刻胶上，显影后通过蒸发金属、剥离工艺，得到...
刘兴华徐德钰朱效立谢常青刘明
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基于角谱法的振幅型光子筛的设计和分析被引量：5
2008年
对光子筛的聚焦成像原理作了分析,并用平面波角谱方法对光子筛聚焦成像进行了数值模拟.模拟结果表明,光子筛聚焦具有提高分辨率和抑制高级衍射的优点.在理论分析和计算机模拟的基础上,设计并制作了Fresnel波带片、未平滑处理和平滑处理后的光子筛.用波长为532nm激光光源对波带片和光子筛聚焦光斑进行检测.结果表明,光波通过光子筛聚焦后的光斑比波带片的光斑更细,成像对比度更高.
姜骥付强朱效立刘兴华徐熙平谢常青刘明
关键词：衍射光学
金属环形栅有机晶体管结构及其制备方法
本发明公开了一种金属环形栅有机晶体管结构，该结构包括：绝缘衬底、在该绝缘衬底表面制备的环形栅电极、在该绝缘衬底表面及环形栅电极上制备的栅介质层、在栅介质层上制备的有机半导体层，以及在该有机半导体层圆形表面制备的圆形源电极...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种制备无过孔全有机场效应晶体管的方法
本发明公开了一种制备无过孔全有机场效应晶体管的方法，包括：清洗干净柔性塑料衬底；使用光刻和剥离工艺在塑料衬底上制备出器件的栅电极；在器件区域内通过接触式微区旋涂在栅电极上涂敷有机栅介质；烘烤有机栅介质，在有机栅介质上光刻...
刘舸刘明刘兴华商立伟王宏柳江
阻变存储器的检测电路及检测设备
本发明公开了一种阻变存储器的检测电路及检测设备。检测电路为：设置字线的电压为预定的读取电压并检测阻变存储器中流动的电流值，在合理的选择取样电阻后，通过比较读取电压和取样电阻上的电压，从而读出存储器中的数据。检测设备包括：...
柳江刘明姬濯宇涂德钰刘兴华商立伟刘舸王宏
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构，该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构，该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜，该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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