凌浩
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
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- 发文基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模
- 2011年
- MEMS器件设计流程中,为优化MEMS器件,常常需要对MEMS掩模进行精化设计。为了在MEMS精化设计中同步更新MEMS掩模与几何模型,提出一种面向掩模精化的表面微加工MEMS器件几何建模方法。该方法主要通过建立MEMS器件几何模型和工艺模型之间的依赖关系图,通过变动依赖关系,求出掩模精化所影响的几何元素,而后在几何模型中仅仅更新所影响的几何元素;对于所对应的几何模型存在拓扑突变等情况,该方法采用参数限定或局部几何模拟进行更新。实例分析表明,提出的几何建模方法能快速有效地响应掩模精化,从而有效地促进MEMS器件设计。
- 赵晓霞李建华凌浩刘玉生郭卫斌何高奇
- 关键词：计算机辅助设计微机电系统
- 面向精化的表面微加工MEMS建模及可制造性分析
- 随着MEMS器件结构的复杂度越来越高,MEMS器件的设计必定要经过多次的迭代才能够达到设计性能要求。现有的建模方法对建模过程中的精化设计过程主要是通过对原有的设计进行修改然后重新建模实现的。此方法所实现的精化设计过程不仅...
- 凌浩
- 关键词：计算机辅助设计微机电系统模型精化
- 文献传递
- 表面微加工MEMS三维模型的局部变动
- 2011年
- 现有的微机电系统(MEMS)设计中缺乏面向优化的MEMS器件变动方法。针对表面微加工MEMS,在可制造性分析的基础上提出了表面微加工MEMS三维模型的局部变动方法。该方法首先在表面微加工MEMS三维模型上选定设计关注面,设计人员对所选定的设计关注面进行变动操作;变动设计后根据变动类型基于可制造性分析自动映射和传播变动到表面微加工MEMS三维模型;在三维模型更新后,通过传播定位了该变动操作所要修改的掩模,更新该掩模文件,实现工艺模型和几何模型的一致性。实例测试结果表明:该方法能够有效地实现三维模型的局部变动,从而提高了MEMS设计人员的效率。
- 凌浩李建华刘玉生郭卫斌何高奇
- 关键词：微机电系统
