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冯方方
作品数:
26
被引量:16
H指数:2
供职机构:
中国科学院地质与地球物理研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
天文地球
电子电信
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合作作者
杨长春
中国科学院地质与地球物理研究所
董旸
中国科学院地质与地球物理研究所
韩可都
中国科学院地质与地球物理研究所
李宗伟
中国科学院地质与地球物理研究所
薛旭
中国科学院地质与地球物理研究所
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作者
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一种惯性检测元件的电容读出电路
本发明提供一种惯性检测元件的电容读出电路,包括:前置放大器的输入端连接惯性检测元件的信号输出端,前置放大器的输出端连接第一采样保持器和第二采样保持器;前置放大器用于将惯性检测元件的输出信号进行前置放大后输出给第一采样保持...
韩可都
冯方方
董旸
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检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统
本发明实施例公开了一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统。所述方法包括:根据MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号,拟合开环频率特性;将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率...
董旸
冯方方
文献传递
MEMS加速度传感器性能参数标定方法、处理器及系统
本申请提供了一种MEMS加速度传感器性能参数标定方法、处理器及系统,驱动闭环控制转动平台对待测MEMS加速度传感器进行重力场下的360度转动多点定位,获得其输入轴加速度、输出轴加速度、摆轴加速度和实际输出量,再利用其预设...
董旸
冯方方
薛旭
麻三怀
文献传递
一种加速度传感器本底噪声的测试装置及测试方法
公开了一种加速度传感器本底噪声的测试装置及测试方法,属于传感器检测技术领域。该装置包括,包括隔振装置和减振系统,其中,所述隔振装置包括静音室和隔振台,所述隔振台包括气浮隔振台和多级弹性隔振台,所述静音室内具有容置空间,所...
张潇筱
冯方方
韩可都
薛旭
杨长春
董旸
文献传递
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统
本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统,所述MEMS传感器检测装置包括前置放大器、环路滤波器以及反馈电路,还包括设置在所述前置放大器之后的HL型滤波器,所述前置放大器、所述环路滤波器以及所述HL型滤...
李宗伟
周永建
张潇筱
刘婧
孟海龙
杨长春
韩可都
冯方方
文献传递
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统
本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统,所述MEMS传感器检测装置包括:读出电路,用于对MEMS传感器的输出信号进行模拟信号处理,以产生检测电压;抵消电压产生电路,用于根据所述检测电压产生重力抵消电...
李宗伟
韩可都
刘婧
冯方方
杨长春
文献传递
MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统
本发明公开了一种MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统,所述MEMS传感器检测装置包括:读出电路,用于对MEMS传感器的输出信号进行模拟信号处理,以产生检测电压;抵消电压产生电路,用于根据所述检测电压产生重力抵消电...
李宗伟
韩可都
刘婧
冯方方
杨长春
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一种MEMS加速度传感器芯片的检测方法及装置
本申请公开了一种MEMS加速度传感器芯片的检测方法及装置,用以解决现有的MEMS加速度传感器芯片在加工完成后,不能初步判断MEMS加速度传感器芯片是否正常的技术问题。方法包括:将可变直流电压以及将预设频率的交流电压加在M...
刘婧
冯方方
李宗伟
杨长春
周永健
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一种高精度加速度传感器本底噪声的测试装置及测试方法
公开了一种高精度加速度传感器本底噪声的测试装置及方法,该装置包括,包括隔振装置和减振系统,其中,所述隔振装置包括静音室和隔振台,所述隔振台包括气浮隔振台和多级弹性隔振台,所述静音室地面上安装有旋转底座,所述气浮隔振台设置...
张潇筱
冯方方
韩可都
薛旭
杨长春
董旸
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MEMS地震检波器
本发明公开了一种MEMS地震检波器,其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥,其中,MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计;...
麻三怀
杨长春
俞度立
冯方方
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