于翮
- 作品数：12 被引量：6H指数：2
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：动力工程及工程热物理机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 电液动力微泵的实验分析被引量：3
- 2009年
- 本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵—电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体。相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关。
- 于翮张强俞坚马重芳
- 关键词：电子冷却
- 电液动力微泵微电极的不同制作工艺的比较(英文)被引量：5
- 2009年
- 基于MEMS加工技术的电液动力微泵在微流体冷却系统和解决高热流器件的冷却问题中占有重要地位。电液动力微泵的核心部分是通过MEMS加工工艺制作的由成对的发射极和集电极组成的微电极。在电极对间的强电场作用下,电介质流体中的离子、极子以及微粒同电场相互作用来驱动流体流动。本文系统地讨论了微电极在设计和制作中需要关注的问题:电极材料的选择方针,多种形状的电极设计和两种电极加工工艺—电镀法和剥离法的对比。实验结果表明:贵金属有更好的抗电化腐蚀能力;同普通平行电极结构相比,带有尖锐结构的电极更能提高微泵的性能;相比电镀法,剥离法能更好地提高电极的制作质量。
- 于翮张强乔大勇俞坚
- 关键词：微机电系统微泵微电极
- 内置式微型电液动力泵的研究
- 2008年
- 本文介绍了一种新型电子冷却技术—微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
- 于翮孙翠霞俞坚
- 关键词：电子冷却传热
- 内置式微型电液动力泵的研究
- 本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果。
- 于翮孙翠霞俞坚
- 关键词：电子冷却传热
- 文献传递
- 基于电液动力学的冷却微泵的模拟研究
- 本文通过建立三维电液动力微泵模型，并运用了Intelisuite软件对电液动力微泵进行数值模拟研究，结合电液动力泵的工作原理和实验结果，分析电极形式及布置对微泵性能的影响，为电液动力微泵的优化设计作了探索。
- 于翮张强俞坚马重芳
- 关键词：电子冷却数值模拟优化设计
- 文献传递
- 微型电液动力泵的实验研究
- 随着电子元器件不断微型化和功率密度不断增加,使得下一代电子元器件所需的散热功率大幅增加,现有的电子冷却技术无法满足电子器件所需的散热功率。
本文针对大功率电子芯片的散热问题,提出一种基于MEMS加工技术的新型微型电...
- 于翮
- 关键词：电子冷却微机电系统优化设计封装工艺电子元器件
- 电液动力微泵的改进被引量：2
- 2011年
- 介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。
- 于翮俞坚马重芳
- 关键词：PDMS封装电子冷却
- 电液动力微泵的实验分析
- 本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵—电液动力微泵，微泵有一组平面电极组成，施加直流来驱动流体。相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质，电极结构和材料以及工作环境有关。
- 于翮张强俞坚马重芳
- 关键词：电子冷却MEMS技术电极结构
- 文献传递
- 基于电液动力效应的离子拖曳微泵(英文)被引量：1
- 2009年
- 介绍了一种新型电子冷却系统—离子拖曳电液动力微泵,运用MEMS技术在硅片上加工了离子拖曳微泵并进行了测试,微泵由一组平面电极组成,电极的宽度为40μm,发射极和集电极之间的间距为50μm,共有90对电极对,每组电极对之间的距离为100μm。微泵静压力实验以HFE7100和无水乙醇作工作流体,通过施加直流电压来驱动工作流体,当输入电压为200 V时,微泵可以得到250 Pa的静压力。实验结果表明:微泵的静压力与施加的输入电压成二次方关系,同微流道的高度成反比。实验发现工作介质的物性参数也是决定泵性能的一个重要因素,选择合适的流体可以提高整个微泵冷却系统的性能。研究还表明,微泵的性能与工作寿命和实验环境的洁净度以及工作流体提纯密切相关。
- 于翮张强乔大勇俞坚
- 关键词：微机电系统微泵
- 微型电液动力泵的实验
- 2008年
- 本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究。微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动。分别采用HFE7100和无水乙醇作为工作流体进行了静压头测试。使用HFE7100时最高可以得到1050Pa的压头。
- 孙翠霞于翮李德胜俞坚
- 关键词：MEMS
