丁啸雄
- 作品数：3 被引量：4H指数：2
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- 磁控溅射法制备氮掺杂二氧化锡薄膜及其性能评价
- 二氧化锡薄膜具有透明导电的特性，因而被制成透明电极而广泛应用于平板显示器和太阳能电池中。研究表明，经掺杂的薄膜具有更优异的光电性能和稳定性能，然而传统的掺杂元素Sb和F较为昂贵且有毒性，因此，掺氮将有望解决上述问题。 ...
- 丁啸雄
- 关键词：磁控溅射法光学性能
- 氮掺杂对SnO2薄膜光电性能的影响被引量：2
- 2012年
- SnO2薄膜具有透明导电的特性,因而被制成透明电极而广泛应用于平板显示器和太阳能电池中。研究表明,经掺杂的薄膜具有更优异的光电性能,然而传统的掺杂元素Sb,Te或F较为昂贵且有毒性,因此,掺氮将有望解决上述问题。本文利用反应射频磁控溅射法制备出不同氧含量的SnO2以及氮掺杂SnO2薄膜,并分析了薄膜的形貌结构及光电性能。结果表明:薄膜沉积过程中氧分压和氮掺杂对薄膜性能影响较大。在SnO2薄膜中,晶粒呈包状形态,随着氧分压的增加,晶粒取向从(101)转向(110)方向,晶粒尺寸逐渐变小,可见光透光率提升到80%以上,光学带隙增加到4.05 eV;在氮掺杂SnO2薄膜中,晶粒呈四棱锥形态,晶粒取向为(101)方向,随着氧分压的增加,可见光的透过率同样提升到80%以上,光学带隙增加到3.99 eV。SnO2薄膜和氮掺杂SnO2薄膜的电阻率最低分别达到1.5×10-1和4.8×10-3Ω.cm。
- 丁啸雄方峰蒋建清
- 关键词：SNO2薄膜氮掺杂光电性能磁控溅射
- 一种氮掺杂二氧化锡薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种氮掺杂二氧化锡薄膜的制备方法，以磁控溅射法制备二氧化锡薄膜，磁控溅射时，按体积比O<Sub>2</Sub>∶N<Sub>2</Sub>＝(1～6)∶(99～94)的比例通入O<Sub>2</Sub>和N<...
- 方峰蒋建清张旭海丁啸雄
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