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马高印

作品数：16 被引量：24H指数：4
供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金武器装备预研基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术交通运输工程电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 6篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇交通运输工程
  • 3篇航空宇航科学...
  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 5篇陀螺
  • 5篇加速度计
  • 5篇硅
  • 4篇微机电系统
  • 4篇微陀螺
  • 4篇机电系统
  • 4篇电系统
  • 3篇数字控制
  • 3篇静电悬浮加速...
  • 3篇加速度
  • 2篇堆栈
  • 2篇容错
  • 2篇容错性
  • 2篇数字控制器
  • 2篇微机械加速度...
  • 2篇接口板
  • 2篇晶圆
  • 2篇控制器
  • 2篇惯性仪表
  • 2篇浮子

机构

  • 9篇北京航天控制...
  • 7篇上海交通大学
  • 3篇清华大学
  • 1篇中国航天科技...

作者

  • 16篇马高印
  • 7篇陈文元
  • 6篇张卫平
  • 4篇肖奇军
  • 4篇韩丰田
  • 4篇严小军
  • 3篇王立奇
  • 3篇刘凯
  • 2篇吴校生
  • 2篇张忠榕
  • 2篇李凯
  • 2篇崔峰
  • 2篇邓忠武
  • 2篇游鹏程
  • 2篇张龙
  • 2篇刘福民
  • 2篇徐超
  • 2篇庄海涵
  • 2篇王雪
  • 1篇邢朝洋

传媒

  • 2篇传感技术学报
  • 2篇中国惯性技术...
  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇微电机
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇压电与声光

年份

  • 2篇2018
  • 1篇2017
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2012
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
共 16 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于虚拟仪器的压电陀螺扫频信号系统设计被引量：1
2010年
扫频信号采集系统是压电微陀螺悬浮系统的重要组成部分。介绍了NIPXIe—6124多功能信号采集模块(DAQ)的原理与结构、以及它在构成压电陀螺扫频信号系统中所起到的作用。由于它同时具有高速的采样速率(4MS/s)和高精度(16位)的采样值,设计了基于NI公司设备的系统,用来准确地采集压电陀螺在各个频段的感应振动信号,将信号送入计算机进行处理,得出陀螺仪的谐振模态。在具体实验操作过程中,成功地将由DDS电路所激励的陀螺振动信号送入DAQ,并完好地处理了一系列陀螺的振动数据。
王立奇陈文元卢弈鹏马高印吴校生
关键词：谐振频率
悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展被引量：6
2008年
分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。
张卫平陈文元赵小林吴校生崔峰刘武黄晓刚肖奇军马高印张忠榕
基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统被引量：4
2009年
开发了一种基于数字信号处理器(DSP)的静电悬浮转子微陀螺的可视化闭环测控系统。该系统是在VC33 DSP平台下,采用增量式PID算法控制器,对VC33 DSP开发系统的外设A/D、D/A和PCI芯片进行编程应用。具体为使用VC++编写可视化界面,对PCI芯片编程实现DSP与PC之间通信,使用VC33 DSP汇编语言编程实现数据的输入输出。经编程测试,增量式汇编函数能够有效运行,为静电悬浮转子微陀螺的悬浮、旋转等检测控制实现奠定了一定的基础。
刘凯张卫平陈文元周海军肖奇军马高印李凯
关键词：微陀螺测控系统数字信号处理器转子
静电悬浮转子微陀螺微位移数字化电容检测通道设计
2009年
微位移检测是实现静电悬浮转子微陀螺闭环起支和稳定悬浮控制的重要前提。针对微陀螺轴向起支和悬浮的检测要求、特点及主要技术指标,设计了完整的电容式微位移检测通道。该通道主要由前置C/V转换、差动放大、四阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调、四阶Butterworth低通滤波和16位A/D转换等环节组成,具有激励带宽大、检测精度高及数字化输出等特点。试验表明,检测通道的灵敏度为1.4V/pF,线性度为2.11%,微位移检测分辨力优于10nm,能够满足微陀螺轴向起支和稳定悬浮的检测要求。
马高印陈文元张卫平崔锋王立奇
关键词：微陀螺微位移电容检测
一种硅微静电悬浮加速度计
一种硅微静电悬浮加速度计，涉及MEMS微惯性器件及仪表。它包括测控系统、金属基座和表头；所述测控系统由垂直堆栈的四层电路组成；所述四层电路依次包括数字控制板、模数数模接口板、主体检测板和前置检测板；所述表头焊接于前置检测...
马高印韩丰田张龙游鹏程严小军
文献传递
一种三浮惯性仪表有源磁悬浮自动湿对中标定方法
一种三浮惯性仪表有源磁悬浮自动湿对中标定方法，对每路惠斯顿检测电桥的第一磁悬浮元件施加加力信号，拖曳三浮惯性仪表浮子运动到正向极限位置，同时通过数字控制器获得对应的数字电压值，记为U<Sub>maxoi</Sub>；对每...
马高印严小军王雪邓忠武徐超
一种硅微静电悬浮加速度计
一种硅微静电悬浮加速度计，涉及MEMS微惯性器件及仪表。它包括测控系统、金属基座和表头；所述测控系统由垂直堆栈的四层电路组成；所述四层电路依次包括数字控制板、模数数模接口板、主体检测板和前置检测板；所述表头焊接于前置检测...
马高印韩丰田张龙游鹏程严小军
文献传递
一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装
本发明公开了一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装，所述方法包括以下步骤：1)在晶圆正面进行MEMS芯片加工工艺，完成MEMS芯片正面工艺的制备；2)将晶圆正面与玻璃陪片贴在一起，在晶圆背面进行背腔的刻蚀，...
刘福民张树伟邱飞燕马高印孙鹏梅崴梁德春庄海涵
文献传递
静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩
2008年
针对工作于高真空密封腔中的静电悬浮MEMS陀螺微转子,为建立其旋转动力学模型,实现高精度恒速旋转控制,需要得到高努森数条件下的空气阻尼力矩特性。结合复杂结构的轮状扁平微转子,根据分子动理论和Christian模型,推导出压膜阻尼力矩特性;根据稀薄气体动力学,在考虑腔室内壁和转子表面具有不同切向动量适应系数的条件下,推导出滑膜阻尼力矩解析公式。以根据腔内空气流动特征进行的分区直接蒙特卡罗模拟(DSMC)结果为参考,总阻尼力矩系数的解析误差约为16%,表明解析模型具有较好的精度,对于高努森数条件下类似微器件的建模和系统设计具有较高的实用价值。
马高印陈文元崔峰张卫平王立奇
关键词：微陀螺
硅微静电悬浮加速度计实验研究
2014年
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静电加速度计的性能。测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220 g n;y轴的带宽为118.2 Hz,量程为0.313 g n;z轴的带宽为10.7 Hz,量程为3.53 g n。
张汉蒸韩丰田孙搏谦马高印
关键词：微机电系统微机械加速度计
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