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韩立
作品数:
3
被引量:7
H指数:2
供职机构:
兰州大学物理系
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
陈光华
兰州大学物理系
张文军
兰州大学物理系
张仿清
兰州大学物理系
姚江宏
兰州大学物理系
王志勇
兰州大学物理系
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兰州大学
作者
3篇
陈光华
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韩立
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张文军
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王志勇
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张仿清
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姚江宏
传媒
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科学通报
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物理学报
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兰州大学学报...
年份
2篇
1996
1篇
1994
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3
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织构金刚石薄膜的成核与生长
被引量:4
1996年
在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下,用微波等离子体化学汽相沉积(M3VCVD)技术在Si(100)衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜(SEM)和取向X射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的金刚石薄膜观察了织构的金刚石薄膜的成核和生长过程。
张文军
韩立
胡博
涨仿清
陈光华
关键词:
金刚石
CVD
成核
金刚石薄膜在热敏打印头上的应用
被引量:1
1996年
首次报道了用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)技术在TaN2电阻材料上沉积高质量金刚石薄膜的制备工艺,以及扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱、压痕测试的测试结果。
王志勇
姚江宏
韩立
陈光华
关键词:
金刚石
热敏打印机
打印机
热敏打印头
用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)法在(100)Si衬底上沉积织构金刚石膜
被引量:2
1994年
人工合成金刚石薄膜最重要的应用前景之一是有可能成为新一代高温、高频、大功率半导体器件的材料,但由于多晶金刚石膜中颗粒的晶向分布杂乱,而且存在大量的晶粒间界和缺陷,大大地影响了膜的质量,不可能用以制造高性能的电子器件,所以人们一直在致力于金刚石外延膜的研究.
张文军
张仿清
胡博
韩立
陈光华
关键词:
金刚石
气相沉积
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