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韩立

作品数：3 被引量：7H指数：2
供职机构：兰州大学物理系更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 2篇织构
  • 2篇金刚石薄膜
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇气相沉积
  • 1篇热敏打印
  • 1篇热敏打印机
  • 1篇热敏打印头
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇微波等离子体...
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇SI衬底
  • 1篇CVD
  • 1篇衬底
  • 1篇成核
  • 1篇打印机
  • 1篇打印头

机构

  • 3篇兰州大学

作者

  • 3篇陈光华
  • 3篇韩立
  • 2篇张文军
  • 1篇王志勇
  • 1篇张仿清
  • 1篇姚江宏

传媒

  • 1篇科学通报
  • 1篇物理学报
  • 1篇兰州大学学报...

年份

  • 2篇1996
  • 1篇1994
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
织构金刚石薄膜的成核与生长被引量：4
1996年
在加衬底偏压和不加衬底偏压两种情况下，用微波等离子体化学汽相沉积（Ｍ３ＶＣＶＤ）技术在Ｓｉ（１００）衬底上合成了织构的金刚石薄膜使用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和取向Ｘ射线衍射技术证实了我们得到的样品是织构的金刚石薄膜观察了织构的金刚石薄膜的成核和生长过程。
张文军韩立胡博涨仿清陈光华
关键词：金刚石CVD成核
金刚石薄膜在热敏打印头上的应用被引量：1
1996年
首次报道了用微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＣＶＤ）技术在ＴａＮ２电阻材料上沉积高质量金刚石薄膜的制备工艺，以及扫描电镜、Ｘ射线衍射、拉曼光谱、压痕测试的测试结果。
王志勇姚江宏韩立陈光华
关键词：金刚石热敏打印机打印机热敏打印头
用微波等离子体化学气相沉积(MWCVD)法在(100)Si衬底上沉积织构金刚石膜被引量：2
1994年
人工合成金刚石薄膜最重要的应用前景之一是有可能成为新一代高温、高频、大功率半导体器件的材料,但由于多晶金刚石膜中颗粒的晶向分布杂乱,而且存在大量的晶粒间界和缺陷,大大地影响了膜的质量,不可能用以制造高性能的电子器件,所以人们一直在致力于金刚石外延膜的研究.
张文军张仿清胡博韩立陈光华
关键词：金刚石气相沉积
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