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詹竣凯

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：国立清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电容
  • 3篇振膜
  • 2篇弹性元件
  • 2篇极板
  • 1篇平整
  • 1篇精准

机构

  • 3篇国立清华大学

作者

  • 3篇方维伦
  • 3篇詹竣凯

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微机电电容式麦克风
本发明提出一种微机电电容式麦克风，其振膜为一刚性振膜，并设置于一弹性元件上，使得刚性振膜得以借弹性元件的弹性作用平行于一背极板的法向量方向位移，从而获致刚性振膜与背极板间的电容变化。
方维伦詹竣凯
微机电电容式麦克风
本发明提出一种微机电电容式麦克风，其振膜为一刚性振膜，并设置于一弹性元件上，使得刚性振膜得以借弹性元件的弹性作用平行于一背极板的法向量方向位移，从而获致刚性振膜与背极板间的电容变化。
方维伦詹竣凯
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微机电电容式麦克风
本发明提出一种微机电电容式麦克风，其包括一支撑部与一振膜；其中，支撑部支撑振膜的中心部分，借以加速排除、释放振膜于热工艺中所产生的应力，使振膜得以维持平整，以提升电容感测的精准度。
方维伦詹竣凯
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共1页<1>
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