王玉芬
- 作品数:85 被引量:54H指数:4
- 供职机构:中国建筑材料科学研究总院更多>>
- 发文基金:国际科技合作与交流专项项目湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:化学工程金属学及工艺电子电信理学更多>>
- 光学石英玻璃的合成制备和应用被引量:1
- 2017年
- 光学石英玻璃因其优异的综合性能而成为激光核技术、航空航天、半导体集成电路、光电器件和精密仪器等高端光电子技术领域不可或缺的关键光学材料。重点介绍了化学气相沉积、等离子化学气相沉积和间接合成法等光学石英玻璃合成制备工艺的优缺点、发展现状、材料性能与应用等。
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- 关键词:光学材料石英玻璃合成制备半导体集成电路光电子技术综合性能
- SiCl4流量及沉积距离对SiO2疏松体微粒特性的影响
- 本文采用间接合成法制备石英玻璃,在氢氧火焰中沉积形成SiO疏松体。通过SEM、XRD和比表面分析仪等研究SiCl流量、沉积距离对SiO疏松体微粒形貌、结构形态、粒径和比表面积等特性的影响。结果表明:沉积形成的SiO微粒为...
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- 文献传递
- 低密度SiO2疏松体的孔隙结构特性研究
- 低密度SiO2疏松体是间接合成法制备石英玻璃的中间体,具有一定强度和孔隙率,其孔隙结构和孔径分布对后期烧结产生重要影响。通过SEM、压汞法和氮气吸附法等研究了低密度SiO2疏松体的微观形貌、孔隙结构和孔径分布等。结果表明...
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- 关键词:孔隙结构压汞法
- 液相水解法制备高纯石英粉体团聚状态的控制被引量:2
- 2011年
- 采用多晶硅副产物SiCl4液相水解法制备高纯合成石英粉,通过激光粒度分析、SEM等研究了水解反应、干燥、高温煅烧过程中粉体颗粒团聚体的形成机理及控制技术,并利用XRD和IR分析了合成石英粉的结构形态及羟基含量。结果表明:在水解反应过程中,添加合适分散剂(如聚乙二醇、十六烷基三甲基溴化铵)有助于防止水解产物SiO2颗粒的团聚;在干燥前,用去离子水洗涤水解产物多次后再用无水乙醇脱水,可减少干燥过程颗粒的团聚;干燥温度不宜过高,以水分易于均匀地排除即可;随着烧结温度的升高,粉体羟基含量逐渐减少,从1 250℃开始非晶态的SiO2颗粒逐步转变为α-方石英,在1 300℃时衍射峰形尖锐,但高温下SiO2颗粒之间形成了坚实的烧结颈,产生了硬团聚体,需粉磨和筛分以得到所需粒径的石英粉体。
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- 关键词:团聚体
- 一种间接合成石英玻璃的方法及其专用设备以及一种石英玻璃
- 本发明一种间接合成石英玻璃的方法及其专用设备以及一种石英玻璃,属于玻璃制造领域。该方法包括:1)将四氯化硅原料气在600-1200℃的氢氧火焰中反应,使四氯化硅水解或氧化生成纳米二氧化硅微粒,纳米二氧化硅微粒再经沉积形成...
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- 文献传递
- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
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- 结构与缺陷对石英玻璃性能稳定性的影响被引量:3
- 2016年
- 性能稳定的"长寿命"石英玻璃是高科技领域的关键材料。论文着重研究石英玻璃体相、表面结构与缺陷对其化学与力学性能稳定性的影响及其机理。研究结果表明,结构与缺陷是影响石英玻璃性能稳定性的主要内在因素。玻璃假想温度越低,体相结构中气泡、颗粒、条纹、羟基、金属杂质离子等缺陷越少,以及表面与亚表面结构缺陷越少,其性能稳定性越高。
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- 关键词:石英玻璃性能稳定性
- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶...
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- 文献传递
- 石英玻璃的制备方法及石英玻璃
- 本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃,涉及石英玻璃制造技术领域,主要目的在于提高石英玻璃成品在氢氟酸和氟气F<Sub>2</Sub>等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括:通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解...
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- 带测距的石英玻璃制砣机
- 本实用新型是关于一种带测距的石英玻璃制砣机,涉及机械设备领域,主要目的在于提高制砣机的升降定位检测精度。主要采用的技术方案为:带测距的石英玻璃制砣机,包括底座、升降座、主轴、升降机构、旋转编码器和升降动力装置;主轴可转动...
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- 文献传递