林德教
- 作品数：28 被引量：120H指数：7
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金博士研究生创新基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术电子电信经济管理更多>>
- 双反射薄膜的设计和实现被引量：1
- 2001年
- 弹光效应双反射膜是一种各向异性的高反射膜。在预加了应力的基片上镀制高反射膜 ,然后撤去基片上的预加应力 ,则基片上因弹性变形而产生的应变便转移到了膜系上。由于弹光效应使膜系成为各向异性的 ,从而使垂直入射光束的两个正交偏振反射分量有了一定的相对相位延迟。理论分析和实验证明 ,选择好膜系结构 ,确定好中心波长 ,并经优化 ,在工作波长处可以得到较大的相位色散 ,施加 10 0 N的力就能在正交方向获得 1.8°的相位差而反射率保持不变 ;此膜系用于氦氖激光器 ,可制出频差为 5 MHz量级的双频激光器。文中给出了一个弹光效应的双反射膜的结构参数和数值计算结果。
- 毛文炜林德教殷纯永霍玉晶
- 关键词：光学薄膜弹光效应双频激光器
- 双频共焦台阶高度显微测量装置
- 本发明属于表面形貌测量技术领域,涉及双频共焦台阶高度显微测量装置,包括横向塞曼激光器,依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜;放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波...
- 殷纯永林德教柳忠尧张蕊徐毅
- 文献传递
- 滚转角测量方法及其滚转角测量仪
- 本发明属于角度的光学测量技术领域，包括在横向塞曼激光器输出端的光轴上设置该半透半反镜，在该半透半反镜的透射光轴上垂直设置有二分之一波片，以及在该反射镜的反射光轴上依次垂直设置有二分之一波片、检偏器及第一光电探测器；在该半...
- 殷纯永柳忠尧林德教蒋弘
- 文献传递
- 一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪被引量：4
- 2004年
- 提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法,同时实现了高分辨率(亚纳米)与较大量程(5μm以上)测量,构成了双频干涉共焦显微系统DICM。实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向响应曲线,证实了纯共焦方法在轴向分辨率提高方面的局限性,但其光强变化足以区分干涉条纹的级次。将该系统应用于微电子掩模板台阶高度标准的测量,实验表明DICM的测量值与国际比对结果相符合,系统具有良好的复现性,极限偏差小于5nm。
- 林德教柳忠尧徐毅殷纯永
- 关键词：计量学共焦显微术
- 测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法
- 本发明公开了属于光学测量技术领域的一种测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法。包括横向塞曼激光器、依次放置在激光器发射端轴线上的低反射分光平片、半反射分光平片和反射镜构成的可调分束角结构、渥拉斯顿偏振分光...
- 孟永钢林德教岳兆阳宋南海殷纯永
- 文献传递
- 虚拟合成波长链绝对距离干涉测量方法及实现装置
- 本发明属于绝对距离测量技术领域,用在一条直线上的两个双光束干涉仪,由压电陶瓷调制,采用可调谐激光器,实现了在波长调谐的同时测量波长值和单波长的干涉信号相位,计算得到虚拟合成波干涉条纹的小数级次。通过调谐激光器得到了一系列...
- 殷纯永晁志霞林德教徐毅
- 文献传递
- 用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法被引量：3
- 2005年
- 提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。
- 柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕
- 关键词：计量学线宽共焦显微术
- 企业竞争力评价的函数建模及分析被引量：11
- 2001年
- 我国的学者在评价企业竞争力方面作了大量的研究,并取得了初步的成果.但是至今仍缺少一个定量的表达方法,这种状况和广泛采用数字技术和工具的现实不相适应.鉴于此,本文试图从影响企业竞争力的各相关因素出发,根据"系统性、可行性、通用性"原则,建议采用威布尔(Weibull)函数作为评价企业竞争力的数学模型.
- 林德教殷纯永林映侠
- 关键词：企业竞争力函数模型
- 具有纳米级分辨率的超精密定位工作台被引量：47
- 2001年
- 柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明 ,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。
- 林德教吴健殷纯永
- 关键词：柔性铰链压电陶瓷双频激光干涉仪
- 旋转光栅调制傅里叶变换频谱仪被引量：5
- 2003年
- 提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪 (FTS) ,光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案 ,通过对三个波长分别为 670nm ,63 3nm和 5 3 2nm的激光进行了频谱测量实验 ,结果表明该光谱仪具有良好的稳定性和抗干扰能力 ,经调制后测量灵敏度倍增 2 0倍 ,尤其适用于微弱信号测量和近红外领域。
- 林德教平井亚纪子松本弘一曾理江殷纯永
- 关键词：光电子学傅里叶变换光谱仪
