林军
- 作品数：7 被引量：0H指数：0
- 供职机构：北京航空航天大学物理科学与核能工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程理学一般工业技术电子电信更多>>
- 纳米硅薄膜太阳电池工艺参数的优化与制备
- 利用射频为13.56MHz的等离子体化学气相沉积(PECVD)设备,通过对电池的本征和N型纳米硅薄膜的制备工艺以及电池背电极的烧结工艺参数优化,制备出结构为Al栅极/ITO/N-nc-Si:H/I/P-c-Si/Al背电...
- 赵而敬张维佳沈燕龙张静林军杨东杰Havugimana Jean Jacques
- 关键词：纳米硅薄膜太阳电池背电极工艺参数
- 文献传递
- 高电导率P型纳米硅薄膜的制备及其在薄膜太阳电池中的应用
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以高氢稀释的硅烷(SiH4)为反应气体,硼烷(B2H6)为掺杂气体,氢气(H2)为稀释气体,在玻璃衬底上制备出掺硼的氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜,分别研究了衬...
- 杨东杰张维佳林军Jean Jacques HAVUGIMANA刘嘉孙月峰马强
- 关键词：RF-PECVD掺硼太阳电池
- 文献传递
- 高电导率P型纳米硅薄膜的制备及其在薄膜太阳电池中的应用
- 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,以高氢稀释的硅烷(SiH4)为反应气体,硼烷(B2H6)为掺杂气体,氢气(H2)为稀释气体,在玻璃衬底上制备出掺硼的氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜,分别研究了衬...
- 杨东杰张维佳林军Jean Jacques HAVUGIMANA刘嘉孙月峰马强
- 关键词：化学气相沉积法光电性能太阳电池
- 文献传递
- 高品质AZO制备及其在硅基薄膜太阳电池中的应用
- 以自制的高电导、高致密度的掺铝氧化锌陶瓷靶为靶材,采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)薄膜.研究了衬底温度对AZO薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响,并成功将其应用于纳米硅薄膜太阳电池的透明导电...
- 林军张维佳杨东杰Jean Jacques HAVUGIM A孙月峰刘嘉马强
- 关键词：纳米硅薄膜衬底温度光电性能
- 文献传递
- 掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析
- 以硝酸、高纯锌、硝酸铝、尿素为原料,采用均匀沉淀法制备掺铝氧化锌(AZO)粉末,借助769YP-24B型压片机预制AZO陶瓷靶坯体,经常压高温烧结成高致密度、高导电性的AZO陶瓷靶。运用XRD、SEM、电阻率仪等测试手段...
- 张静张维佳赵而敬沈燕龙杨东杰林军Havugimana Jean Jacques
- 关键词：AZO粉末靶材烧结温度均匀沉淀法
- 文献传递
- 高品质AZO制备及其在硅基薄膜太阳电池中的应用
- 以自制的高电导、高致密度的掺铝氧化锌陶瓷靶为靶材,采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(AZO)薄膜。研究了衬底温度对AZO薄膜晶体结构、电学和光学性能的影响,并成功将其应用于纳米硅薄膜太阳电池的透明导电...
- 林军张维佳杨东杰Jean Jacques HAVUGIMANA孙月峰刘嘉马强
- 关键词：直流磁控溅射衬底温度纳米硅薄膜太阳电池
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- 氢化纳米硅薄膜的椭偏表征
- 使用等离子体化学气相沉积的方法成功制备了厚度在30nm量级的超薄氢化纳米硅薄膜,采用单角度激光椭偏仪和光度法结合的方法测量,利用模拟退火算法和单纯形法处理椭偏数据,对其厚度和光学性质进行表征,比较了该方法与使用单一椭偏仪...
- 沈燕龙张维佳赵而敬张静杨东杰林军亚克
- 文献传递
