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张美荣

作品数：3 被引量：27H指数：2
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合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学

主题

  • 2篇应变能
  • 2篇晶粒
  • 1篇电路
  • 1篇钝化层
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶薄膜
  • 1篇织构
  • 1篇屈服强度
  • 1篇微结构
  • 1篇界面能
  • 1篇金属薄膜
  • 1篇晶粒尺寸
  • 1篇晶粒取向
  • 1篇晶粒生长
  • 1篇集成电路
  • 1篇各向异性
  • 1篇表面能
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇尺寸

机构

  • 3篇陕西师范大学
  • 2篇西安交通大学

作者

  • 3篇张建民
  • 3篇张美荣
  • 2篇徐可为

传媒

  • 2篇物理学报
  • 1篇陕西师范大学...

年份

  • 2篇2003
  • 1篇2002
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
薄膜中正常晶粒生长膜厚效应的理论分析被引量：2
2002年
根据自由表面在晶界处的开槽现象,对薄膜中正常晶粒生长膜厚效应进行了理论分析.结果表明,正常晶粒生长被塞积时的平均晶粒尺寸与膜厚成正比.
张美荣张建民
关键词：金属薄膜晶粒生长晶粒尺寸
薄膜中异常晶粒生长理论及能量各向异性分析被引量：23
2003年
针对柱状晶薄膜 ,建立了异常晶粒生长理论模型 .指出薄膜中的晶粒生长 ,除像传统的整体材料中的晶粒生长一样考虑晶界能外 ,还应当考虑表面能、界面能和应变能 .对能量的各向异性进行了回顾性分析 .从表面能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 111)和 ( 110 ) ;而从应变能的最小化考虑 ,面心立方和体心立方薄膜的择优取向或织构应分别为 ( 110 )和 ( 10 0 )
张建民徐可为张美荣
关键词：各向异性织构表面能界面能应变能微结构
多晶薄膜屈服强度的一个模型被引量：5
2003年
从位错运动的应力功和应变能关系导出了附着在基体上并有钝化层薄膜的屈服强度公式 .该式表明多晶薄膜的屈服强度由两个影响因子 (晶粒取向和位错类型 )和三个强化因子 (钝化层强化 ,基体强化和晶粒强化 )确定 .
张建民徐可为张美荣
关键词：多晶薄膜屈服强度超大规模集成电路钝化层晶粒取向应变能
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