周路
- 作品数：20 被引量：66H指数：5
- 供职机构：长春理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>
- 半导体激光器腔面增透膜AlN薄膜的制备被引量：3
- 2011年
- 提出了一种新的半导体激光器增透膜———AlN膜,并用matlab软件模拟分析了不同腔面反射率对激光器输出功率的影响,得到激光器最大输出功率时前后腔面的反射率的最佳值。采用反应磁控溅射技术,利用高纯铝靶(99.999%)和N2+Ar的混合气体在K9玻璃基片上沉积了AlN薄膜。利用Filmetrics系统对薄膜进行光学性能测试,分析了不同工艺参数对薄膜沉积速率和折射率的影响。将最优条件下制得的AlN单层增透膜用于半导体激光器上,光学灾变损伤阈值和器件输出功率都得到了很大的提高。
- 周路王云华贾宝山白端元张斯钰乔忠良高欣薄报学
- 关键词：增透膜折射率溅射
- 一种利用两步法对GaAs基材料进行湿法刻蚀的方法
- 一种利用两步法对GaAs基材料进行湿法刻蚀的方法，属于半导体光电子器件工艺技术领域。该领域已知技术很难同时兼顾纵宽比与被腐蚀面的粗糙度。本发明是一种利用两步法对GaAs基材料进行湿法刻蚀的方法。其最终结果可以得到纵宽比较...
- 单少杰刘国军魏志鹏郝永芹冯源安宁周路陈芳罗扩郎张升云何斌太刘鹏程
- 文献传递
- 高功率半导体激光器可靠性检测系统
- 一种高功率半导体激光器可靠性检测系统属于高功率半导体激光器可靠性检测装置领域，该系统包括驱动电源、测试盒、放大器、数据采集处理单元、参数提取单元、存储单元和打印及显示单元。该高功率半导体激光器可靠性检测系统精度高、性能可...
- 白端元高欣薄报学周路
- 文献传递
- 射频反应溅射AL_2O_3薄膜组分研究
- 2012年
- 通过射频反应溅射的方法制备Al2O3薄膜,并研究其中AL和O的化学配比,并取得初步结果。实验以高纯Al作为靶材,高纯度O2为反应气体,在单晶(100)Si片上镀制Al2O3薄膜。用XPS能谱分析仪测试,不同氩氧比的情况下,氧化铝薄膜的化学配比,并与反应速率曲线进行对比确定氩氧比工艺。结果表明,应用此工艺制备的Al2O3薄膜具有良好的化学配比,得出了用试验方法确定反应溅射Al2O3薄膜氧氩比工艺的方法,此方法简单有效。
- 任杰薄报学高欣周路
- 关键词：反应溅射AL2O3薄膜XPS
- 氩、氢混合等离子体处理对GaAs表面性质及发光特性的影响被引量：3
- 2013年
- 介绍了一种氩、氢混合等离子体清洗GaAs基片的实验工艺,深入研究了氩、氢等离子体清洗GaAs表面污染物和氧化层,并活化表面性能的基本原理,同时讨论了气体流量、溅射功率和清洗时间等不同溅射参数对等离子体清洗效果的影响。结果表明,在氩气和氢气流量分别为10 cm3/min和30 cm3/min,溅射功率为20 W,清洗时间为15 min的条件下,GaAs样品的光致发光强度提高达139.12%,样品表面的As—O键和Ga—O键基本消失。
- 王云华周路乔忠良高欣薄报学
- 关键词：等离子清洗发光强度
- 高功率半导体激光器抗COD关键技术研究
- 高功率半导体激光器由于体积小、效率高、调制简单等一系列优点，受到广泛的关注和应用。高输出功率和长期可靠性是高功率半导体激光器得以广泛应用的前提，而灾变性光学镜面损伤(COD)一直是限制激光器最大输出功率和可靠性的重要因素...
- 周路
- 关键词：量子阱混杂高功率半导体激光器
- 一种制作GaAs基半导体激光器非吸收窗口的方法
- 一种制作GaAs基半导体激光器非吸收窗口的方法，属于半导体光电子器件技术领域。该领域已知技术难以大幅度提高器件抗COD能力，同时使工艺难度和成本控制在较低水平。本发明基于量子阱混杂原理，制作了激光器非吸收窗口，整个过程中...
- 周路王云华薄报学高欣乔忠良贾宝山白端元
- 文献传递
- 一种使用湿法刻蚀法制备GaAs微透镜的方法
- 一种使用湿法刻蚀法制备GaAs微透镜的方法,属于半导体光电子器件工艺技术领域。由于传统垂直腔面发射激光器有光束质量差的缺点，我们针对于GaAs基垂直腔面发射激光器发明了利用湿法刻蚀制备微透镜的方法。用微透镜作为输出耦合透...
- 刘国军单少杰郝永芹魏志鹏冯源李特安宁周路罗扩郎陈芳何斌太刘鹏程
- 文献传递
- 基于ZEMAX高功率半导体激光器光纤耦合设计被引量：11
- 2013年
- 随着半导体激光器光源在激光加工领域的应用不断拓展,研制高耦合效率的半导体激光器光纤耦合模块变得十分重要。为了进一步提高光纤耦合激光二极管模块的输出功率,本文应用ZEMAX光学设计软件进行仿真模拟,将12只波长为808 nm、输出功率为10 W的单管半导体激光器通过合束方法高效率耦合进光纤。耦合光纤芯径为150μm、数值孔径为0.22,光纤输出功率为116.2 W,耦合效率为96.8%。
- 周泽鹏薄报学高欣王文许留洋王云华周路
- 关键词：半导体激光器ZEMAX高功率光纤耦合
- GaAs表面硫钝化工艺新研究被引量：6
- 2012年
- 为得到GaAs表面稳定的钝化层,以(NH4)2S为主要对象,首先研究不同溶剂对钝化效果的影响,得出溶液极性越小,钝化效果越好的结论;研制出一种新的钝化溶液:Se+(NH4)2S+叔丁醇。通过光致发光(PL)谱对比(NH4)2S+去离子水、(NH4)S2+异丙醇、(NH4)2S+叔丁醇、Se+(NH4)2S+叔丁醇等几种不同含硫溶液钝化GaAs(100)表面的发光特性。通过测试PL发光谱发现,Se+(NH4)2S+叔丁醇溶液处理的GaAs(100)表面发光强度最强,是未做钝化处理的25倍左右。钝化处理后的基片在空气中放置数小时,PL谱未见明显退化。得出Se+(NH4)2S+叔丁醇不论从发光强度还是稳定性来说,都是较为理想的钝化溶液。
- 周路王云华贾宝山白端元乔忠良高欣薄报学
- 关键词：砷化镓钝化光致发光
