高飒飒
- 作品数：3 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术更多>>
- 同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿被引量：10
- 2011年
- 为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。
- 卢启鹏高飒飒彭忠琦
- 关键词：面形误差
- X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析被引量：4
- 2012年
- 为缩短实验前的等待时间,减小热辐射对光学元件的损伤以及热变形对实验的影响,充分利用同步辐射X射线获得稳定有效的实验结果,对X射线干涉光刻(XIL)光束线偏转聚焦系统进行了热-结构耦合分析。针对上海光源(SSRF)的光源参数,计算偏转聚焦系统所受的热功率密度分布,在此基础上对偏转聚焦系统在相同载荷、不同边界条件下进行了瞬态热平衡分析,得到双柱面镜M1、M2达到热平衡所需的时间、温度分布,并做了比较分析。结果表明,对XIL光束线上偏转聚焦系统的M1、M2采用间接水冷方式可削弱热载效应,达到热平衡的时间分别由8677s和7850s缩短到960s和840s,最高温度分别由182.73℃和129.73℃降低到57.94℃和47.29℃,此时的最大面形误差分别为7.23μrad和9.24μrad,缩短了从开机到实验的等待时间,在提高实验效率的同时能够获得稳定有效的实验结果。
- 高飒飒卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：X射线光学热平衡面形误差
- 超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析被引量：4
- 2013年
- 针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特点,设计了一种合理有效的热缓释方案,对缝片进行了热-结构耦合分析。对狭缝的精度指标进行了测试。结果显示:该四刀狭缝的分辨率优于0.1μm、运动重复精度优于2μm、刀口直线度优于2.5μm、平行度优于0.5mrad,可以精确实现狭缝在水平和垂直方向-5～250μm的开度,缝片在热负载下的最大热变形控制在0.034μm。得到的结果表明,该精密四刀狭缝具有高的精度和稳定性,可满足XIL光束线的使用要求,现已实际使用并制备出了100nm周期的刻蚀线结构。
- 高飒飒卢启鹏彭忠琦龚学鹏
- 关键词：有限元分析
