马洪文
- 作品数：8 被引量：34H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>
- 基于有限元法的切屑形成过程仿真
- 目前,新的工程材料及刀具材料的不断涌现,为了深入了解各种材料的切削加工性能,必须进行大量的切削试验.而大量的切削试验即耗时又费线,因此研究人员需要找到一种对材料切削加工性能进行分析的方法来替代切削试验.该文采用有限元方法...
- 马洪文
- 关键词：有限元法仿真
- 文献传递
- 超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计
- 2004年
- 应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机 ,实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下 ,大幅度提高行程 ,同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器 ,驱动分辩率可达 2 0nm。
- 马洪文姚绍明谭久彬
- 关键词：超声波电动机有限元
- 基于单神经元PID解耦的激光漂移量控制方法被引量：3
- 2004年
- 简述了激光光束漂移量控制原理,并指出在特定方向(一维)激光光束漂移量控制过程中存在严重耦合问题。传统PID(proportionalintegralderivative)解耦控制难以很好抑制耦合现象。针对此问题,提出了应用单神经元PID解耦控制对激光漂移量控制过程中的耦合进行解耦。与传统PID解耦控制相比,本方法解耦控制的响应速度明显加快,抗干扰能力加强,可以更好地抑制系统耦合。实验表明,应用单神经元PID解耦控制后系统振荡现象基本消除,激光光束在特定方向的准直精度可以稳定在5×10-8rad。
- 马洪文谭久彬赵维谦石致
- 关键词：激光光束准直响应速度单神经元PID解耦控制控制过程
- 激光外差干涉快速超精密测量模型研究被引量：12
- 2005年
- 为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型。传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒频移公式,通过分析激光外差干涉的测量原理,在已有的激光干涉测量模型上增加了v2/c的积分项,相当于将传统测量模型进行了高阶误差补偿。通过理论分析可知,当最高测量速度为1m/s,运行位移为3m时,该测量模型能够减小约18nm的测量误差,解决了传统测量模型存在的残余误差累计问题,从而为激光外差干涉在快速超精密测量领域的应用提供了一种理论依据。
- 钟志谭久彬马洪文孙文法
- 关键词：光学测量激光外差干涉多普勒频移
- 薄片式挠弹性器件漫反射激光三角法频率测量被引量：2
- 2004年
- 分析比较了薄片式挠弹性器件自振频率测量的不同方法,进而提出了应用漫反射激光三角法实现对薄片式挠弹性器件进行非接触瞬态激励测量。该方法利用漫反射激光三角法测量摆动部分位移,避免了测量过程中位移与转动的干涉。测量采用瞬态激励效应来避免传统采用共振法测量频率时引入的外界干扰;根据测量信号特点,采用了最大似然法对测量模型求解。实际结果表明,标准测试状态下,瞬态激励法的测量精度比常规静态测量法提高约50倍,达到0.006Hz。
- 马洪文谭久彬杨文国尹静
- 关键词：频率测量
- 漂移量反馈控制式激光准直方法被引量：17
- 2004年
- 提出一种集光纤准直与光束漂移量反馈控制准直技术于一体的激光光束准直方法 ,它是在单模光纤对激光器出射光束漂移量进行初级准直的基础上 ,进一步对光束的漂移量进行反馈控制 ,进而提高出射光束的方向稳定性。准直系统中利用漂移量分离光路和光电检测系统对光束的平漂量和角漂量进行了分离检测 ,并各自构成相应的光束空间平漂量反馈控制系统和光束空间角漂量反馈控制系统 ,减小了平漂量和角漂量反馈控制中的相互耦合。引入单模光纤使激光器与光束漂移量反馈控制准直系统相隔离 ,减小了激光管热源温度变化等因素对准直系统的影响 ,同时还便于准直系统使用中的安装布置。上述方法的应用 ,提高了准直精度及准直效率。实验表明目前该方法准直精度可达 0 .7× 10 -7rad。
- 赵维谦谭久彬马洪文邹丽敏
- 关键词：物理光学激光准直光束漂移
- 应用加权中值滤波法检测薄壁梁式挠性器件下摆量
- 2004年
- 应用加权中值滤波法对薄壁梁式挠性器件下摆量进行高准确度CCD检测。薄壁梁式挠性器件在测量过程中测量图像存在高频抖动现象,因此测量准确度不高,运用加权中值滤波后使用最小二乘法细分技术,可以在实现提高测量准确度的同时,消除高频抖动带来的误差,从而可以有效提高CCD测量薄壁梁式挠性器件下摆量的准确度。实验表明,该方法比传统测量方法准确度提高20倍以上。
- 马洪文杨文国敖磊金国良
- 关键词：CCD最小二乘法
- 二元光学器件激光直写机定位系统关键技术研究
- 本课题'二元光学器件激光直写机定位系统关键技术研究'的主要目的就是在宏微双重定位原理之上,探讨研究一种解决宏微双重定位系统的定位速度和定位精度之间矛盾的方法,为实现大行程、高精度、高速度的空间三维运动提供一种有效的技术途...
- 马洪文
- 关键词：激光直写
- 文献传递
