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陈绍风

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
相关领域：一般工业技术轻工技术与工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇电极
  • 2篇电偶
  • 2篇压力传感器
  • 2篇真空微电子
  • 2篇真空微电子压...
  • 2篇氢气
  • 2篇热电偶
  • 2篇力传感器
  • 2篇金属
  • 2篇硅片
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电视显微镜
  • 1篇阴极
  • 1篇栅极
  • 1篇软X射线
  • 1篇射线
  • 1篇水垫
  • 1篇微波器件

机构

  • 7篇中国科学院电...

作者

  • 7篇陈绍风
  • 5篇夏善红
  • 2篇张建刚
  • 1篇陶新昕
  • 1篇马恩东
  • 1篇庄学曾
  • 1篇李自高

传媒

  • 3篇第七届中国真...
  • 1篇科技开发动态
  • 1篇无损检测

年份

  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 3篇1999
  • 1篇1995
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
单面悬浮腐蚀薄膜的方法
一种单面悬浮腐蚀薄膜的方法，包括步骤：用黑胶保护硅片带有金属引线薄膜的一面，将硅片腐蚀到剩下20μm-30μm；黑胶清洗干净后，将硅片悬浮在支架上；所述被腐蚀硅片与腐蚀液之间的距离为0-3厘米；所述腐蚀液的温度为60℃-...
陈绍风张建刚夏善红
文献传递
用于无损检测的软X射线电视显微镜
1995年
介绍一种用于无损检测的软X射线电视显微镜,并给出了用该设备检测几种不同类型样品的结果。
谈凯声李自高陈绍风
关键词：X射线显微镜
双栅极场发射阵列的研制
聚集能力的、双层栅极场发射阵列是一种新型的高性能场发射阵列，是发展真空微电子微波、毫米波等器件的关键核心部件。但制备这种双层栅极的场发射阵列具有一些特殊性。本文主要介绍该制备过程中的问题，并利用微波等离子体电子回旋共振沉...
陈绍风夏善红庄学曾
关键词：微波器件场发射阵列
阴极—敏感薄膜复合型真空微电子压力传感器
提出了阴极—敏感薄膜复合结构的真空微电子压力传感器，在计算机模拟计算的基础上，对其结构尺寸进行了优化设计，并研制作出了阴极—敏感薄膜复合结构。
陶新听夏善红陈绍风
关键词：真空微电子压力传感器
隔离感染使用的气／水垫隔离床帐蓬
2005年
编号：0501256 该专利是一种气／水垫隔离床帐篷，由床垫和帐篷组成，帐篷在床垫上方，底边与床垫周缘固接。
陈绍风马恩东
关键词：床垫
单面悬浮腐蚀薄膜的方法
一种单面悬浮腐蚀薄膜的方法，包括步骤：用黑胶－沥青保护硅片带有金属引线薄膜的一面，将硅片腐蚀到剩下20μm－30μm；黑胶清洗干净后，将硅片悬浮在支架上；由支架下面的腐蚀液继续腐蚀硅片到要求的尺寸。本发明使恒温的腐蚀液在...
陈绍风张建刚夏善红
文献传递
新型真空微电子压力传感器及其封闭技术研究
介绍了作者在新型真空微电子压力传感器研究方面取得的进展，并探讨真空微电子压力传感器的封装技术。
夏善红陶新昕陈绍风
关键词：真空微电子传感器
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