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陈国
作品数:
2
被引量:22
H指数:2
供职机构:
中国科学技术大学物理学院物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
电气工程
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合作作者
朱美芳
中国科学技术大学物理学院物理系
郭晓旭
中国科学技术大学物理学院物理系
孙景兰
中国科学院半导体研究所
许怀哲
中国科学院半导体研究所
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中国科学院
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郭晓旭
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陈国
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朱美芳
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许怀哲
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孙景兰
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太阳能学报
1篇
物理学报
年份
2篇
1997
共
2
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热丝法制备纳米晶硅薄膜结构及沉积机制的研究
被引量:11
1997年
用热丝法制备了纳米晶硅薄膜.通过Raman散射谱及X射线谱,系统地研究了沉积气压Pg、高H2稀释及衬底与钨丝之间距离对沉积速率、纳米硅薄膜的形成和结构等的影响.计算了沉积过程中的温度场分布.讨论了沉积过程中反应基元的输运和相关的气相反应,以及H在薄膜生长中的作用,由此分析了沉积参量对薄膜结构的影响,得到了与实验相一致的结果.
陈国
郭晓旭
朱美芳
朱美芳
许怀哲
韩一琴
关键词:
热丝法
纳米晶
硅
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
被引量:12
1997年
系统地研究了低压热丝化学汽相沉积技术中沉积气压、衬底温度、钨丝温度等参量对氢化非晶硅膜结构、光电特性及稳定性的影响。结果表明,沉积气压是影响非晶硅膜的最主要参数,在优化沉积参数的条件下制备非晶硅。
陈国
朱美芳
孙景兰
郭晓旭
苏夷希
关键词:
热丝法
稳定性
太阳能电池
非晶硅薄膜
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