边心超
- 作品数:17 被引量:15H指数:2
- 供职机构:北京印刷学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金北京市属高等学校人才强教计划资助项目北京市教委资助项目更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺理学电子电信更多>>
- 不同形态纳米氧化锌晶体的制备
- 利用空心阴极等离子体放电在单晶硅上成功的沉积了各种形态的纳米氧化锌晶体,在制备过程中,使用氩气作为等离子体形成气体,氧气作为反应气体,由空心阴极放电加热蒸发高纯度锌粉。在测试过程中,利用X射线衍射仪对晶体结构进行表征;利...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词:空心阴极蒸发表面形貌
- 文献传递
- 微量水对碳纳米管形貌的影响及其机理研究被引量:2
- 2008年
- 利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直径不均匀,分布在40—90nm之间,呈链节状的结构;加入少量水时,制备出的碳纳米管直径比较均匀,集中在70nm左右,表面为瘤状结构;当水的流量进一步增加时,得到的碳纳米管表面光滑,出现了枝状结构.原位测量了加水前后等离子体区的发射光谱,分析了微量水的引入对于碳纳米管形貌变化的影响机理.
- 张春梅边心超陈强付亚波张跃飞
- 关键词:碳纳米管介质阻挡放电发射光谱
- 不同形态纳米氧化锌晶体的制备
- 利用空心阴极等离子体放电在单晶硅上成功的沉积了各种形态的纳米氧化锌晶体。在制备过程中,使用氩气作为等离子体形成气体,氧气作为反应气体,由空心阴极放电加热蒸发高纯度锌粉。在测试过程中,利用X射线衍射仪对晶体结构进行表征;利...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词:空心阴极晶体结构表面形貌
- 文献传递
- 大气DBD等离子体的参数诊断及合成纳米DLC薄膜
- 大气压介质阻挡放电具有设备简单,不需要复杂昂贵的真空系统,能在大范围功率下工作产生高密度活性基团粒子,并且具有较低的宏观温度等优点,具有广泛的开发和应用前景。本文在敞开的大气环境中,以Ar气和CH分别作为辅助和反应气体,...
- 边心超
- 关键词:大气压介质阻挡放电等离子体枪
- 文献传递
- 大气压离子枪制备类金刚石薄膜的光谱诊断研究
- 在大气压下,以Ar为辅助气体,CH4为反应单体,利用发射光谱对介质阻挡放电(DBD)等离子枪制备类金刚石的甲烷等离子体的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断并由此分析了制备类金刚石过程中甲烷可能的离解过程。通过对检测到的等...
- 张军峰边心超陈强张跃飞刘福平
- 关键词:发射光谱类金刚石电子温度
- 文献传递
- Ti6Al4V等离子体W-Mo-N表面合金化研究
- 利用W-Mo合金棒制作的针状电极作为合金元素共给源,混合氮气和Ar气作为工作气体,在一封闭的空心阴极盒内对Ti6Al4V表面进行了W-Mo-N合金化研究。放电电压维持在400V-600V之间,工作气压调节在30-50Pa...
- 张跃飞边心超陈强
- 文献传递
- 掺氮DLC薄膜的制备与性能研究
- 利用空心阴极等离子体放电沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜为典型的类金刚石结构。原子力显微镜分析了薄膜表面的粗糙度;SEM 分析了表面形貌;表面轮廓仪测定沉积速率;利用摩擦磨损仪测定膜的机械性...
- 霍纯青张跃飞边心超陈强
- 关键词:空心阴极掺氮类金刚石薄膜
- 文献传递
- 掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究
- 霍纯青边心超陈强
- 微量水对PECVD方法制备碳纳米管形貌的影响
- 利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在700℃下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响。SEM结果表明,不加水时,制备出的碳纳...
- 张春梅边心超陈强付亚波张跃飞
- 关键词:碳纳米管介质阻挡放电
- 文献传递
- 掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量:7
- 2009年
- 利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能。结果表明,氮的掺入使得薄膜中颗粒致密平整,改变了薄膜的表面微观形貌,进而改善了薄膜的摩擦磨损性能。
- 霍纯青边心超陈强
- 关键词:辉光放电空心阴极掺氮类金刚石薄膜