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王培清

作品数：38 被引量：32H指数：4
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇期刊文章
  • 12篇专利
  • 11篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 18篇电子电信
  • 6篇电气工程

主题

  • 12篇光刻
  • 10篇无显影气相光...
  • 7篇刻蚀
  • 5篇晶闸管
  • 5篇光刻胶
  • 4篇电机
  • 4篇电流
  • 4篇曝光量
  • 4篇功率
  • 3篇氮化
  • 3篇氮化硅
  • 3篇电流扩展
  • 3篇电源
  • 3篇软恢复
  • 3篇晶体管
  • 3篇开关器件
  • 3篇开通
  • 3篇刻蚀深度
  • 3篇甲胺
  • 3篇甲胺基

机构

  • 38篇清华大学

作者

  • 38篇王培清
  • 19篇张斌
  • 16篇周伟松
  • 10篇洪啸吟
  • 9篇陈永麒
  • 8篇王均平
  • 8篇卢建平
  • 6篇段生权
  • 6篇黄新
  • 4篇陈思敏
  • 4篇刘道广
  • 4篇志大器
  • 3篇王小兵
  • 3篇陈显舟
  • 2篇陈永琪
  • 2篇张荔
  • 2篇王晓彬
  • 1篇刘丹
  • 1篇杨军
  • 1篇胡立芳

传媒

  • 5篇电力电子技术
  • 3篇电力电子
  • 2篇2008年中...
  • 2篇中国电工技术...
  • 1篇高分子通报
  • 1篇半导体技术
  • 1篇电气时代
  • 1篇高分子学报
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇电气技术
  • 1篇中国电工技术...
  • 1篇中国电工技术...
  • 1篇中国电工技术...
  • 1篇中国电工技术...

年份

  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 5篇2008
  • 2篇2007
  • 3篇2006
  • 2篇2005
  • 5篇2004
  • 1篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇2000
  • 3篇1999
  • 1篇1998
  • 3篇1997
  • 1篇1996
  • 2篇1995
  • 1篇1993
  • 1篇1988
  • 1篇1986
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
超强酸催化的无显影气相光刻胶
一种无显影气相光刻胶，属于光刻技术领域。本发明光刻胶由成膜物质，增感剂、光敏产酸物、溶剂组成。所说的成膜物质为可紫外光固化的光敏树脂如肉桂酸酯类树脂、丙烯酸类树脂。所说的增感剂可用吩噻嗪、N-苯基吩塞嗪、二苯甲酮、蒽、安...
洪啸吟卢建平王培清陈永麒
文献传递
有机碱催化的无显影气相光刻胶
一种无显影气相光刻胶，属于光刻技术领域。本发明光刻胶由成膜物质，光敏剂、具有光敏性的刻蚀促进剂和溶剂组成，所说的成膜物质为可紫外光固化的光敏树脂如肉桂酸酯类树脂、丙烯酸类树脂。所说的光敏剂可用5-硝基苊，安息香二甲醚、二...
王培清卢建平洪啸吟陈永麒
文献传递
无显影气相光刻的机理研究
洪啸吟王培清卢建平李钟哲刘丹段生权肖继强
光刻是微电子和微机械及国防尖端等高新技术的核心技术。无显影气相光刻(DFVP)是近年我国发明的独树一帜的光刻技术，但它是由一个偶然的发现的现象而发展起来的，由于缺乏理论的指导，该技术的发展并没有预期的那么迅速，在学术上也...
关键词：
关键词：无显影气相光刻微细加工高分子化学光刻胶曝光量
高频晶闸管
高频晶闸管，属于功率开关器件技术领域。为了解决现有高频晶闸管工作电流无法达到1200A，不能满足大功率逆变设备要求的问题，本发明提供了一种高频晶闸管，包括硅片、蒸发在所述硅片上的门极、放大门极和阴极，其特征在于：所述放大...
周伟松王培清志大器王均平张斌
文献传递
氟化氢与涂有聚合物膜下二氧化硅的反应研究
1998年
ＨＦ与ＳｉＯ２的反应是一种亲核取代反应，但高温下此反应不能发生．当涂覆在ＳｉＯ２表面的聚合物膜中含有某些特殊的有机化合物或超强酸时，可以促进该反应的发生，这些化合物被称为诱蚀剂．诱蚀剂分三类：（１）三级胺与ＨＦ形成季铵盐得到浓度很高的氟阴离子使该反应很容易发生；（２）强的偶极非质子官能团化合物与ＨＦ中的氢形成氢键使氟的亲核活性增加，有助于该反应发生；（３）超强酸因其质子对ＳｉＯ２骨架中氧的牢固结合能力活化了反应的离去基团，对ＨＦ与ＳｉＯ２的亲核反应起到催化作用．聚合物膜对添加在其中的小分子诱蚀剂起到阻止逃逸的栅栏作用，而本身带有诱蚀官能团的聚合物可以同时充当成膜物及诱蚀剂的作用．通过光化学反应可以选择性地实现聚合物膜下ＨＦ与ＳｉＯ２的刻蚀反应．
洪啸吟段生权卢建平王培清
关键词：聚合物膜光刻氟化氢二氧化硅刻蚀
阴极图形对高频晶闸管di/dt的影响被引量：4
1996年
阴极图形对高频晶闸管ｄｉ／ｄｔ的影响ＴｈｅＥｆｆｅｃｔｏｆＣａｔｈｏｄｅＣｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎｏｎｄｉ／ｄｔＣａｐａｂｉｌｉｔｙｏｆＨｉｇｈＦｒｅｑｕｅｎｃｙＴｈｙｒｉｓｔｏｒ￥／／清华大学王晓彬，王培清，张斌（北京１０２２０１）１前言ｄｉ／ｄｔ...
王晓彬王培清张斌
关键词：高频晶闸管
高频晶闸管
高频晶闸管，属于功率开关器件技术领域。为了解决现有高频晶闸管工作电流无法达到1200A，不能满足大功率逆变设备要求的问题，本实用新型提供了一种高频晶闸管，包括硅片、蒸发在所述硅片上的门极、放大门极和阴极，其特征在于：所述...
周伟松王培清志大器王均平张斌
文献传递
无显影气相光刻在大功率晶闸管元件生产中的应用
1995年
由于无显影气相光刻（ＤＦＶＰ）具有分辨率高、针孔密度低、光刻流程短、设备简单、成本低等优点，因此将其应用于晶闸管元件的生产具有非常重要的实际意义．本文在系统地研究ＤＦＶＰ机理的基础上，提出了新的配方，解决了刻蚀厚二氧化硅（ＳｉＯ２）层的关键技术问题。
王培清卢建平陈永麒
关键词：晶闸管光刻氧化层无显影气相光刻
基于扩散/外延技术高压大功率NPN开关晶体管技术研究
目前,制造高压N-/N+材料有三种方法：硅-硅键合技术、扩散减簿技术和外延技术。本文用扩散减簿技术和外延技术研制出了适于400V/500A的大功率晶体管又名巨型晶体管（GiantTransistor,简称GTR）的材料。...
陈思敏刘道广周伟松王均平黄新张斌王培清
关键词：大功率晶体管开关晶体管电参数测试
文献传递
聚风型风力发电装置
风能作为一种清洁的可再生能源,越来越受到世界各国的重视。"十五"期间,中国的并网风电得到迅速发展。随着中国风电装机的国产化和发电的规模化,风电成本可望再降。本文介绍了一个风能发电示范中心,该中心采用聚风型永磁同步交流风力...
黄新周伟松王培清张荔
关键词：风电永磁同步电机
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