2025年1月24日
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沈卫星
作品数:
41
被引量:86
H指数:5
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
中国科学院国际合作局对外合作重点项目
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
电子电信
理学
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合作作者
林尊琪
中国科学院上海光学精密机械研究...
朱健强
中国科学院上海光学精密机械研究...
徐德衍
高功率激光物理国家实验室
张雪洁
中国科学院上海光学精密机械研究...
杨镜新
中国科学院上海光学精密机械研究...
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作者
41篇
沈卫星
9篇
朱健强
9篇
林尊琪
7篇
徐德衍
5篇
张雪洁
4篇
王利
4篇
庄亦飞
4篇
杨镜新
4篇
邵平
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赵东峰
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居玲洁
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刘诚
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2005
2篇
2004
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2003
3篇
2000
2篇
1999
2篇
1998
2篇
1997
共
41
条 记 录,以下是 1-10
全选
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
激光光斑有效面积的准确测定
被引量:15
2004年
从激光光斑有效面积的定义出发,采用CCD图像摄取技术,设计了一套激光光斑有效面积测量装置。在4种不同激光光斑能量分布和不同能量密度的情况下,用有效面积测量仪分别进行了实际测试验证。结果表明,该测量装置可以对任何能量非均匀分布的激光光斑的有效面积进行准确测试,有助于提高光学元件激光损伤阈值的测量精度。
杨镜新
庄亦飞
沈卫星
林尊琪
关键词:
激光损伤阈值
楔形透镜的检测装置和检测方法
一种楔形透镜的检测装置和检测方法,该楔形透镜检测装置构成包括4D动态干涉仪、补偿镜组、平台、标准反射镜、高精度转台调整架、立方棱镜、自准直平行光管,本发明利用机械与光学相结合的方法来测量,它能够实现高精度测量,并分别得出...
邵平
居玲洁
沈卫星
赵东峰
王利
周洋
文献传递
激光光斑有效面积测试装置
一种激光光斑有效面积测试装置,其特征在于它由CCD成像测量系统与计算机构成,两者之间采用光缆进行光电信号耦合,所说的CCD成像测量系统为面阵CCD成像系统,所述的计算机应具有64位图形加速卡、显示器、和打印机,该计算机(...
杨镜新
沈卫星
庄亦飞
文献传递
光学玻璃粗糙度实时检测装置
一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度实时检测装置,本实用新型是利用激光的表面散射原理,在光学玻璃被加工的同时,不离开工作台的情况下,通过调整激光光源发出的光束与玻璃待测表面的入射角大于或等于全反射角,将散射光同反射光自然分...
程骅
沈卫星
文献传递
一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法
一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法,装置包括由衍射物体和CCD探测器构成的探测器组件、供探测器组件放置的二维电动平移台以及计算机,所述的衍射物体和CCD探测器通过套筒固定连接,且衍射物体与CCD探测器的靶面平行;所...
张雪洁
程北
沈卫星
刘诚
朱健强
文献传递
透镜焦距的测量装置及其测量方法和光学质量评估方法
一种透镜焦距的测量装置及其测量方法和光学质量评估方法,该透镜焦距的测量装置由平面反射镜、待测透镜、点光源、竖直刀口、一维精密平移导轨、激光测距仪、CCD探测器和显示器组成,透镜焦距的测量方法包括①调节点光源与待测透镜自准...
庞向阳
沈卫星
王聪瑜
林尊琪
文献传递
科学CCD近场仪在高功率激光装置中的实时测量
林尊琪
沈丽青
徐德衍
沈卫星
何明芳
蒋玉柱
彭永华
凌鸣逸
该课题源于863-416-2-5-1,神光Ⅱ精密化诊断项目之一,科学CCD近场仪的研究,可监视神光Ⅱ全系统光束传输性能水平,控制各级光束填充因子,探测近场光束性能变化,保证光束精密化性能水平,保证装置安全,稳定运行,美国...
关键词:
超光滑光学表面粗糙度的测定
被引量:1
1999年
讨论了如何确定及消除光学轮廓仪的系统误差,进而测定超光滑光学表面粗糙度的方法及结果。在Zygo Maxim 3D5700 表面轮廓仪上使用2-5 ×和20 ×Mirau 物镜测量rms 在0-3nm 左右的超光滑硅片,通过对每个取样区域数据16 次相位平均,再对多个取样区域高度数据平均,消除了仪器的系统误差,使超光滑光学表面粗糙度得到精确测量。并使用其它光学轮廓仪对样品做了验证测量。作为比较,在同样条件下测量了0-8nm 左右的光滑硅片。
徐德衍
沈卫星
林尊琪
关键词:
光学轮廓仪
超光滑
表面粗糙度
测量光学元件表面粗糙度的取样问题
被引量:4
1997年
根据统计规律,通过对在ZYGOMaxim·3D5700非接触表面轮廓议上测试的6种光学元件表面大量的rms(root-mean-square)数据分析的基础上,认为,在未引入“大”疵病的前提下,被测表面按口径大小和光滑程度取一定的采样区域数就足以表征整个表面的粗糙程度,无需因采样区域数偏少怀疑结果的代表性而添加许多测试区域数。为了反映光学元件整个表面轮廓起伏程度,作者推荐测试结果以rms±σ表征为宜。
沈卫星
徐德衍
关键词:
表面粗糙度
光学元件
表面轮廓仪
相干滤波成像系统测量光学元件表面疵病
被引量:10
2000年
本文利用相干高通滤波成像系统对光学元件表面疵病进行了测量 ,提出了等效疵病面积的概念及计算公式 ,由等效疵病面积可计算出与 GB1185 - 89对应的疵病等级 J。实验装置的分辨率为 10μm。
沈卫星
关键词:
表面疵病
高通滤波
光学元件
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