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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇射线
  • 1篇感器
  • 1篇Β射线
  • 1篇薄膜测厚仪
  • 1篇测厚
  • 1篇测厚仪
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇姚景顺
  • 1篇钟生新
  • 1篇毕文平

传媒

  • 1篇电子技术(上...

年份

  • 1篇1995
2 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
在线薄膜测厚仪被引量:5
1995年
对于厚度为10—100μm的薄膜,传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条,然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以8098单片机为核心的β射线薄膜测厚仪,精度高、速度快,能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。
姚景顺毕文平钟生新
关键词:测厚仪单片机传感器Β射线薄膜测厚仪
共1页<1>
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