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毕文平
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国人民解放军海军大连舰艇学院
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相关领域:
机械工程
军事
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合作作者
钟生新
中国人民解放军海军大连舰艇学院
姚景顺
中国人民解放军海军大连舰艇学院
孙绪业
中国人民解放军海军大连舰艇学院
桂力民
中国人民解放军海军大连舰艇学院
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毕文平
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电子技术(上...
年份
1篇
1995
共
2
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在线薄膜测厚仪
被引量:5
1995年
对于厚度为10—100μm的薄膜,传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条,然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以8098单片机为核心的β射线薄膜测厚仪,精度高、速度快,能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。
姚景顺
毕文平
钟生新
关键词:
测厚仪
单片机
传感器
Β射线
薄膜测厚仪
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