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李支康

作品数：134 被引量：4H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术理学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 128篇专利
  • 5篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 26篇自动化与计算...
  • 10篇一般工业技术
  • 9篇理学
  • 7篇文化科学
  • 4篇经济管理
  • 4篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 78篇传感
  • 74篇感器
  • 74篇传感器
  • 29篇电极
  • 29篇芯片
  • 16篇压阻
  • 16篇谐振
  • 16篇传感器芯片
  • 15篇压电
  • 14篇超声
  • 12篇力传感器
  • 11篇压阻式
  • 11篇应力
  • 11篇生化传感器
  • 11篇品质因子
  • 10篇压力传感器
  • 10篇面内
  • 10篇换能器
  • 9篇电阻
  • 8篇声换能器

机构

  • 134篇西安交通大学
  • 2篇上海交通大学
  • 1篇北京大学第三...
  • 1篇教育部
  • 1篇厦门大学
  • 1篇明石创新(烟...

作者

  • 134篇李支康
  • 124篇赵立波
  • 119篇蒋庄德
  • 52篇杨萍
  • 43篇赵玉龙
  • 39篇王久洪
  • 33篇李杰
  • 25篇韩香广
  • 19篇卢德江
  • 16篇王路
  • 16篇于明智
  • 13篇夏勇
  • 12篇苑国英
  • 11篇李敏
  • 11篇朱楠
  • 10篇叶志英
  • 9篇黄琳雅
  • 8篇王苑
  • 8篇蒋维乐
  • 8篇林启敬

传媒

  • 4篇机械工程学报
  • 1篇应用力学学报

年份

  • 11篇2024
  • 14篇2023
  • 9篇2022
  • 23篇2021
  • 17篇2020
  • 25篇2019
  • 8篇2018
  • 4篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2015
  • 7篇2014
  • 4篇2013
  • 7篇2012
共 134 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法
一种压电压阻复合式触觉传感器及制备方法，包括第一电极结构层，第一电极结构层的下方设有压电力敏结构层，压电力敏结构层的下方设有第二电极结构层，第二电极结构层的下方设有柔性绝缘层，柔性绝缘层的下方设有第三电极结构层，第三电极...
赵立波罗运运夏勇罗国希李字平李支康张乾坤林启敬杨萍蒋庄德
变频自聚焦混合驱动收发一体化PMUT单元及其制备方法
本发明公开了变频自聚焦混合驱动收发一体化PMUT单元及其制备方法，其将传统CMUT单元的塌陷工作模式与PMUT单元的驱动方式进行结合。在超声发射状态，通过调节偏置电压控制处于振动薄膜塌陷区域与传感器基底的贴合状态，实现对...
赵立波徐廷中郭帅帅李支康杨萍李杰赵一鹤刘子晨蒋庄德
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基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法
基于CMUTs谐振式生化传感器的敏感功能层制备方法，先进行基于CMUTs谐振式生化传感器的静电纺丝溶液的制备，再采用近场静电纺丝工艺或远场静电纺丝工艺进行敏感功能层的制备，本发明获得较大的比表面积、厚度为50nm～1μm...
赵立波赵一鹤夏勇李支康李杰张家旺李萍蒋庄德
一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法，包括四组相同的子结构，四个子结构均匀对称分布于固定岛周围。固定岛与质量块之间通过内支撑梁连接，质量块与外框之间通过外支撑梁连接。敏感梁对称分布于外支撑梁两侧...
蒋维乐于明智赵立波贾琛李支康王久洪赵玉龙蒋庄德
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静电-压电混合驱动收发一体化CMUT及其使用方法和制备方法
本发明公开了静电‑压电混合驱动收发一体化CMUT及其使用方法和制备方法，其支柱采用压电材料，可在正反极性电压作用下产生伸缩变形或振动；CMUT从上至下依次包括上电极、振动薄膜、压电支柱、绝缘层及下电极。下电极和上电极覆盖...
李支康赵立波李杰赵一鹤罗国希徐廷中郭帅帅蒋庄德
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一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法
本发明公开了一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法，梳齿式超声传感器包括低单晶硅衬底，该衬底上有二氧化硅支柱层，支柱中心刻蚀形成有空腔，空腔上端面用SOI片键合形成密封层，通过抛光工艺将键合晶圆的SOI片硅衬底减...
赵立波李杰李支康卢德江赵一鹤张家旺徐廷中蒋庄德
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基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法
一种基于可动栅极式场效应晶体管的微力传感器及其制备方法，结构包括由四根直梁支撑的中间质量块，中间质量块前端设置探针，中间质量块前后布置有平衡、工作栅极阵列，平衡、工作栅极阵列相对中间质量块的中心偏移，中间质量块、直梁、探...
赵立波高文迪蒋庄德李支康赵玉龙孙东
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一种基于电容阵列的多模态柔性触觉传感器及其制备方法与应用
本发明公开了一种基于电容阵列的多模态柔性触觉传感器及其制备方法与应用，传感器包括下电极层、上电极层以及夹在两电极层之间的多孔结构介电层，上、下电极层均由封装基底层、图案化电极层以及辅助键合层组成。图案化电极层包括m×n个...
李支康吉田芦继健赵康王斌王佳翔赵立波蒋庄德
一种面内双向振动体PZT能量收集器及能量收集方法和制备方法
本发明公开一种面内双向振动体PZT能量收集器及能量收集方法和制备方法，包括外框架、L型压电悬臂梁、质量块、电极和封装外壳，外框架的形状为环形，L型压电悬臂梁和质量块设置于外框架的内圈，L型压电悬臂梁的一端与外框架1连接，...
赵立波王路罗国希杨萍李支康李磊王久洪蒋庄德
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一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括键合的传感芯片和玻璃衬底，传感芯片包括芯片外框架、固定半岛、质量块、支撑梁、压阻微梁和铰链梁；芯片外框架的内壁分别设置有一个固定半岛，芯片外框架内部设...
赵立波贾琛罗国希于明智韩香广王路杨萍李支康高文迪陈瑶王久洪蒋庄德
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