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徐俞

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇脉冲激光
  • 2篇脉冲激光沉积
  • 1篇电性质
  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇锐钛矿
  • 1篇锐钛矿相
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇钛酸
  • 1篇钛酸锶
  • 1篇钛酸锶钡
  • 1篇微结构
  • 1篇脉冲激光沉积...
  • 1篇介电性质
  • 1篇二氧化钛薄膜
  • 1篇感器
  • 1篇薄膜微结构
  • 1篇BST薄膜
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇苏州大学

作者

  • 2篇沈明荣
  • 2篇徐俞
  • 1篇张鹏展

传媒

  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇第十届固体薄...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
二氧化钛过渡层对脉冲激光沉积钛酸锶钡薄膜微结构和介电性质的影响
2008年
选取极薄TiO2作为过渡层,采用脉冲激光沉积法分别在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)薄膜,研究过渡层对BST薄膜微结构及电学性质的影响。发现厚度20纳米以内的锐钛矿相结晶TiO2过渡层可使BST薄膜由无规则取向转变为(111)择优取向,而非晶和较厚TiO2过渡层对BST薄膜的取向无影响。结晶的TiO2过渡层也使薄膜的表面颗粒变细。还研究了不同厚度TiO2对BST薄膜电学性质的影响,结果表明BST薄膜在Pt(111)底电极上加入极薄的结晶TiO2过渡层后电学性质有明显改善,薄膜的介电常数和可调谐度提高,而介电损耗降低。加入膜厚约5nm的TiO2过渡层后,测试频率为10 kHz时薄膜相应介电常数、介电损耗及可调谐度分别为513、0.053和36.7%。
张鹏展沈明荣徐俞
关键词：脉冲激光沉积法BST薄膜微结构介电性质
脉冲激光沉积锐钛矿相二氧化钛薄膜用于气体传感器
利用脉冲激光沉积法(PLD)在玻璃上制备了锐钛矿相TiO2 薄膜，选择金属Ti 靶材来制备薄膜。分析了在不同的衬底温度条件下制备的薄膜的结晶状态和透射光谱。结果表明在衬底温度为400℃下沉积的薄膜具有良好的结晶度和透射率...
徐俞沈明荣
关键词：脉冲激光沉积锐钛矿二氧化钛薄膜气体传感器
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