廖晓华
- 作品数：2 被引量：5H指数：1
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 用于二维精密定位工作台的微位移机构设计被引量：5
- 2006年
- 微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一。本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析。
- 郑静琳李玉和廖晓华李庆祥
- 关键词：微位移柔性铰链有限元方法平行板
- 用于二维精密定位工作台的微位移机构设计
- 微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工...
- 郑静琳李玉和廖晓华李庆祥
- 关键词：微位移柔性铰链有限元法
- 文献传递
