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唐朝晖
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南京大学
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王展
南京大学
王牧
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冯端
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黄秀清
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2篇
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1篇
2008
1篇
2005
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一种介电滤波薄膜材料及其制备方法
本发明公开了一种介电滤波薄膜材料及其制备方法,该材料是在K9玻璃或硅片衬底上用磁控溅射技术,在高纯氩气氛中逐次生长出具有七层结构的薄膜材料,其中第一、三、五、七层为SiO<Sub>2</Sub>膜或Si膜,第二、四、六层...
彭茹雯
王展
唐朝晖
黄秀清
王牧
林涛
胡安
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冯端
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一种介电滤波薄膜材料及其制备方法
本发明公开了一种介电滤波薄膜材料及其制备方法,该材料是在K9玻璃或硅片衬底上用磁控溅射技术,在高纯氩气氛中逐次生长出具有七层结构的薄膜材料,其中第一、三、五、七层为SiO<Sub>2</Sub>膜或Si膜,第二、四、六层...
彭茹雯
王展
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