刘驰
- 作品数：2 被引量：7H指数：2
- 供职机构：四川大学物理科学与技术学院(核科学与工程技术学院)更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：核科学技术理学机械工程电子电信更多>>
- 用于惯性约束核聚变(ICF)激光驱动系统中集成衍射光学元件的特性研究被引量：4
- 2004年
- 基于标量衍射理论,分析了集成光束采样光栅和色分离光栅于一体的衍射光学元件的衍射效率,及其结构和主光束低频波前畸变量的关系.并将其衍射效率、能量损耗以及分离角,和使用单个的采样光栅和色分离光栅进行了比较.计算分析表明,集成后的衍射光学元件基本上没有改变各级衍射效率的大小,也没有改变基频光和二倍频光的分离角,但可提高光能利用率.以上结果,可为此类集成光学元件应用于ICF的可行性提供理论依据.
- 刘世杰杜惊雷彭钦军高福华刘驰刘建莉
- 关键词：标量衍射理论ICF衍射光学元件衍射效率
- 厚层抗蚀剂显影轮廓分析被引量：3
- 2003年
- DILL曝光模型和MACK显影模型,编制了接触式曝光系统的厚层抗蚀剂光刻模拟软件,用其分析在理想曝光剂量条件下,抗蚀剂显影后的线宽和侧壁陡度随显影时间的变化规律,分析得出了给定厚度的抗蚀剂的显影时间,为实验工艺上严格控制显影时间提供依据。
- 刘世杰杜惊雷肖啸彭钦军刘驰郭永康
- 关键词：线宽MEMS光刻微电子机械系统
