丁英涛
- 作品数：50 被引量：74H指数：4
- 供职机构：北京理工大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学航空宇航科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 压电合成射流激励器LEM方法研究被引量：3
- 2016年
- 基于线性复合平板理论,将机-电-声等效方法应用于压电合成射流激励器,建立了激励器的集总参数模型(LEM).借助ANSYS软件和Matlab软件提取等效模型的关键参数,并使用Matlab软件对合成射流激励器的LEM模型进行了仿真.仿真结果与实验测试值进行了对比,两者吻合得较好.与传统仿真方法相比,所提出的LEM方法具有操作简单、耗时短、占用资源少和效率高等优点.
- 严阳阳周凌峰丁英涛王士伟苏日娜
- 关键词：激励器热线风速仪
- 微喷管内声速点位置及临界压比被引量：1
- 2006年
- 为提高微型空间推进器和微型气体涡轮机等微型器件的性能,利用有限体积法求解二维可压缩N-S方程模拟了扩张比为1.7的收缩-扩张微喷管内部的流场结构和温度分布,研究了尺度效应对微喷管内部流场结构的影响,计算中微喷管的喉部宽度为1～200μm.数值结果表明：在扩张比和进出口压力相同的条件下,微喷管出口马赫数随着微喷管尺度的减小而减小.微喷管内首次出现声速点的位置随着喷管尺度的缩小从喷管喉部逐渐移向喷管出口,临界压比值随着喷管尺度的减小而减小.
- 郝鹏飞姚朝晖丁英涛
- 一种同轴垂直互连导电体的制作方法
- 本发明涉及一种同轴垂直互连导电体的制作方法，属于微电子集成技术领域。本发明基于圆形深孔和环形深槽的金属填充方法，一次性地实现内垂直导电体和外垂直导电体的制造，实现了同轴的垂直互连。只需要往垂直深孔和深槽结构内淀积一次绝缘...
- 丁英涛高巍陈倩文王士伟
- 文献传递
- 一种MEMS全方位流体矢量流速传感器
- 本公开的MEMS全方位流体矢量流速传感器，包括：衬底、可动检测装置和固定检测装置，衬底用于承载所述可动检测装置和固定检测装置；可动检测装置结构包括Bimorph驱动臂和中央承载平台，Bimorph驱动臂用于连接衬底和支撑...
- 任安润丁英涛谢会开
- 变截面微管道内声速点位置及临界压比被引量：1
- 2004年
- 等直 收缩 扩张 等直 (SCDS)变截面微管道主要应用于微型空间推进器和微型气体涡轮机等微器件中 ,研究其内流动特性对指导上述两种微器件的设计和性能的提高具有非常重要的意义 .采用硅微加工技术在硅片上制作出矩形截面三维SCDS微管道 ,喉部宽度为 16 μm ,深度为 2 0 μm ,收缩比为 1 6 2 5∶1 实验测量了不同进出口压比条件下微管道内氮气的流量特性 .实验设定进出口压比值范围为 1 0— 4 0 ,由此出口体积流量范围为 0— 0 12mL s,流动的特征雷诺数小于 35 0 在实验研究的基础上 ,采用有限体积法对其内部流动特性进行了数值模拟 ,数值模拟结果与实验结果相符合 .数值模拟结果发现两点不同于常规流动的特异现象 :其一为最早出现声速点不在最小截面喉部附近 ,而是移到出口截面附近 ,即声速点的位置发生变化 ;其二为在进出口压比达到 4 0时 ,SCDS微管道内部流场才出现声速点 ,即临界压比值 (这里将管道内部首次出现声速点时对应的当地点压力与进口压力的比值定义为临界压比 )发生变化 .将其原因归结为表面效应 (表面积与体积比值S V)的影响 ,并进一步研究了这两点特异现象与S V值之间的关系 .
- 丁英涛何枫姚朝晖沈孟育王学芳
- MEMS微型热敏传感器数值模拟被引量：3
- 2011年
- 借助计算流体动力学软件Fluent,采用有限体积法、非定常N-S方程、Realizable k-ε湍流模型及无滑移壁面边界条件对微电子机械系统(MEMS)微型热敏传感器进行三维数值模拟.全面地分析了传感器绝缘层材料、空腔内介质材料以及结构尺寸参数对其灵敏度的影响情况,探讨了提高传感器灵敏度的方法.同时,设计了一款高灵敏度的MEMS微型热敏传感器.数值模拟结果发现,采用具有较低热导率的结构材料及工作气体,隔热效果最佳;合理优化传感器尺寸参数有助于获得较高的灵敏度.该结果对微型热敏传感器的优化设计和实际加工、制造提供了依据.
- 王竹萍丁英涛刘汝卿
- 关键词：灵敏度三维数值模拟
- 混合介质层类同轴垂直硅通孔的高频性能研究被引量：2
- 2021年
- 为了改善T/R组件中2.5 D转接板的高频特性,本文提出一种工艺简单、结构新颖的混合介质层类同轴硅通孔(through silicon via,TSV)结构,对混合介质层类同轴TSV结构的外围TSV数量、TSV直径、混合介质层厚度等参数进行了仿真研究,并与传统同轴TSV的回波损耗、插入损耗、串扰等性能进行对比.结果表明优化后的混合介质层类同轴TSV结构在1~45 GHz频率范围内,具有良好的射频传输性能.
- 丁英涛王一丁肖磊王启宁陈志伟
- 关键词：T/R组件
- 一种铜纳米管垂直互连结构及其制作方法
- 本发明涉及一种铜纳米管垂直互连结构的制作方法，属于微电子集成技术领域。本发明首先在基片上制作垂直深孔；在所述的基片表面上制作绝缘层，该绝缘层覆盖所述垂直深孔的内表面；在上述绝缘层表面附着催化剂；在催化剂的帮助下，在绝缘层...
- 丁英涛高巍谢奕严阳阳熊苗
- 文献传递
- 脉冲无氰电镀在硅基RF-MEMS滤波器中的应用及优化
- 2018年
- 针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺,基于亚硫酸金盐无氰电镀液,并结合脉冲电镀技术,通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合,实现了所设计的硅基双层自屏蔽式RF-MEMS带通滤波器制备与测试,也为相关RF-MEMS器件制备提供了工艺指导.
- 严阳阳刘斌王士伟卢威丁英涛
- 关键词：脉冲电镀无氰电镀
- 微管道内的剪应力传感器被引量：1
- 2005年
- 制作了一个微管道内的剪应力传感器,该传感器通过热传递的原理工作。采用硅微加工技术制作微管道,在玻璃上通过溅射方法形成钛铂合金热膜,最后将两者键合封装,形成埋置了热膜的封闭微管道。测量了热膜的电阻温度系数,确定了热膜处于不同输入功率下的过热比。对该剪应力传感器进行了方波实验,确定其工作在不同过热比下的时间常数。对传感器进行实验标定,得到不同进出口压差下,微管道内的壁面剪应力大小。
- 姚朝晖葛其明丁英涛郝鹏飞
- 关键词：微管道剪应力传感器
