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黄云
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安工业学院光电工程学院仪器工程系
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
周玉玲
西安工业学院光电工程学院仪器工...
刘中本
西安工业学院光电工程学院仪器工...
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刘中本
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周玉玲
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黄云
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1篇
西安工业学院...
年份
1篇
1998
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一维相移剪切干涉图的实时处理
被引量:3
1998年
为实现一维相移干涉图的实时处理,采用了三阶式相移方式对干涉图数据进行自动采集和分析,并由计算机直接给出最后结果.文中通过实例分析表明,对口径为110mm、焦距为961mm的抛物面形非球面,在计算口径内最大误差为0.2645λ,均方差为0.1093λ,面形检测精度达0.1μm.
黄云
周玉玲
刘中本
关键词:
剪切
干涉图
数据处理
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