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马力

作品数：6 被引量：7H指数：2
供职机构：吉林大学更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 5篇准分子
  • 5篇准分子激光
  • 5篇激光
  • 5篇分子
  • 3篇准分子激光器
  • 3篇激光器
  • 3篇分子激光器
  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇SUB
  • 1篇氧化锡
  • 1篇原子层外延
  • 1篇砷化镓
  • 1篇数字化
  • 1篇透镜
  • 1篇透镜阵列
  • 1篇微透镜
  • 1篇微透镜阵列
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘介质
  • 1篇激光剥离

机构

  • 5篇吉林大学
  • 1篇集成光电子学...

作者

  • 6篇马力
  • 4篇王庆亚
  • 4篇赵方海
  • 4篇郑伟
  • 3篇任临福
  • 3篇张玉书
  • 1篇郑伟
  • 1篇祝亚琴
  • 1篇高鼎三
  • 1篇张玉书
  • 1篇戴国瑞
  • 1篇姜喜兰
  • 1篇刘扬
  • 1篇石景龙

传媒

  • 2篇吉林大学自然...
  • 2篇仪器仪表学报
  • 1篇激光技术
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1996
  • 2篇1995
  • 2篇1994
  • 1篇1993
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
绝缘介质Al_2O_3薄膜的数字化生长技术
1995年
采用ＣＶＤ技术实现了Ａｌ２Ｏ３薄膜的数字化生长，实验结果表明这种生长方法具有生长温度低、层厚可控等特点，生长出的薄膜每周期生长厚度约为１．１９。
赵方海刘扬郑伟马力
关键词：数字化绝缘介质衬底温度原子层外延
准分子激光剥离金刚石薄膜被引量：2
1994年
准分子激光剥离金刚石薄膜赵方海，王庆亚，任临福，郑伟，马力，张玉书（集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子工程系，长春１３００２３）关键词准分子激光器，光解剥离，阈值金刚石材料具有材质硬、热导率高等优点￣［１］，是良好的机械加工刀...
赵方海王庆亚任临福郑伟马力张玉书
关键词：准分子激光器金刚石薄膜
准分子激光直接切割金刚石薄膜的技术研究
1994年
本文介绍了准分子激光切割金刚石薄膜的实验结果，给出了切割金刚石薄膜的光能量密度阀值，并对其结果进行了分析和讨论。
赵方海任临福王庆亚马力郑伟张玉书
关键词：准分子激光金刚石薄膜
准分子激光选择CVD技术的SnO_2薄膜图形生长及微透镜制作被引量：3
1995年
准分子激光ＣＶＤ由于紫外光参与并促进了其源分解，所以对激光光束具有很强的选择性从而可以实现图形转换和直接图形生长，我们利用这一特点在自己建立的准分子激光选择ＣＶＤ系统上得到了ＳｎＯ２薄膜生长速率与激光能量密度间的关系曲线，并玻璃和Ｓｉ衬底上实现了ＳｎＯ２薄膜的宽约８０μｍ条伏和面积１００×１００μｍ２方形图形生长，同时也在Ｓｉ衬底进行了微透镜制作的尝试，获得了半径约４５μｍ近高斯分布的ＳｎＯ２，薄膜，其中心最大厚度约９７０ｍｍ。
王庆亚姜喜兰马力郑伟
关键词：准分子激光CVD技术高斯分布准分子激光器
GaAs中准分子激光诱导掺Zn和Si的研究
1993年
本文报导了用XeCl激光器实现向半绝缘GaAs衬底掺Zn的实验结果,给出了Zn原子的纵向分布以及掺杂后方块电阻与激光脉冲次数的关系曲线,同时在相同衬底上采用气体源进行了掺Si实验研究.
祝亚琴马力任临福石景龙戴国瑞张玉书
关键词：准分子激光器掺杂砷化镓
用准分子激光CVD制作SnO_2微透镜及其阵列的技术研究被引量：2
1996年
本文利用准分子激光ＣＶＤ技术以液态ＳｎＣｌ４和氧气为源制出了半径４５μｍ的ＳｎＯ２薄膜微透镜及微透镜阵列。并从反应机制和生长规律出发对这一生长技术特点和前景进行了阐述。
王庆亚马力赵方海郑伟张玉书高鼎三
关键词：准分子激光CVD微透镜微透镜阵列二氧化锡
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