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机构

  • 7篇中国人民解放...

作者

  • 7篇韩小刚
  • 5篇刘美全
  • 2篇范江玮
  • 2篇孙钦蕾
  • 1篇王锋
  • 1篇李爱华

传媒

  • 1篇测试技术学报
  • 1篇中国现代教育...

年份

  • 1篇2017
  • 4篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2012
7 条 记 录,以下是 1-7
排序方式:
多层模型计算椭偏法测量的SiO_2/Si超薄膜厚度被引量:2
2012年
采用不同的光学模型对厚度为6 nm,密度为2.2 g/cm3的理想SiO2薄膜理论曲线进行了拟合,得到了薄膜厚度的计算结果随所采取的薄膜密度变化的规律:选用更大的薄膜密度值进行拟合计算会得到更小的厚度结果,其趋势近似线性.参考GIXRR方法测量得到的薄膜物理结构的结果,给出了优化的拟合计算模型(薄膜密度为2.4 g/cm3、表面粗糙度为0.4 nm、界面粗糙度为0.3 nm),对于热氧化法制备的厚度小于10 nm的SiO2超薄膜,使用此模型进行拟合计算,可以得到比常规模型更为准确的厚度结果.采用优化的模型拟合了期望厚度为2,4,6,8,10 nm的SiO2超薄膜的SE实验曲线,得到的厚度结果分别为2.61,4.07,6.02,7.41,9.43 nm,与传统模型计算结果相比,分别降低了13.8%,10.3%,8.1%,7.3%和6.6%.
范江玮王锋孙钦蕾韩小刚
关键词:椭偏法
水下设备光纤控制开关
本发明公开了一种水下设备光纤控制开关,涉及开关技术领域。所述光纤控制开关包括水上控制终端、水下输出终端、连接光纤。所述水上控制终端包括:单片机、光纤发送模块、光纤接收模块、供电模块、状态指示模块、按键开关和壳体。所述水下...
孙钦蕾韩小刚刘美全
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车辆位置信息压缩采集方法、终端及系统
本发明公开了一种车辆位置信息压缩采集方法、终端及系统。涉及基于位置的服务技术领域,其方法为:终端采集其所在车辆的位置与速度数据序列,进行数据序列的曲线拟合,仅将曲线表征参量及辅助数据传送到中心端,从而实现压缩采集;当导航...
韩小刚刘美全孙钦蕾
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车辆位置信息压缩采集方法、终端及系统
本发明公开了一种车辆位置信息压缩采集方法、终端及系统。涉及基于位置的服务技术领域,其方法为:终端采集其所在车辆的位置与速度数据序列,进行数据序列的曲线拟合,仅将曲线表征参量及辅助数据传送到中心端,从而实现压缩采集;当导航...
韩小刚刘美全孙钦蕾
借助Matlab GUI/SQL Server开发的实验室数据集管理软件
2015年
在分析了现代实验室数据管理特点的基础上,以Matlab作为开发平台,利用Matlab GUI/SQL Server技术开发了实验室数据集管理软件。软件由实验列表、实验名称、实验目的、实验日期、实验地点、实验人员、实验设备、实验描述、实验结果、实验数据、实验报告等几个单元模块组成,具有实验信息记录、实验参数选择、实验结果录入、实验数据处理、实验报告生成等功能。实验结果表明软件实用性强,有效减轻了实验管理者的工作量,易于安全便捷的处理实验数据,实现了实验室数据管理的科学化、规范化、现代化。
孙钦蕾李爱华范江玮韩小刚
关键词:GUISQLSERVER数据采集与分析
车辆位置信息压缩采集终端及系统
本实用新型公开了一种车辆位置信息压缩采集终端及系统。涉及基于位置的服务技术领域,所述采集终端包括壳体,还包括中央处理器、北斗/GPS双模定位模块、加速度测量模块、移动数据通信模块、存储模块、显示模块和供电模块。本实用新型...
韩小刚刘美全孙钦蕾
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水下设备光纤控制开关
本实用新型公开了一种水下设备光纤控制开关,涉及开关技术领域。所述光纤控制开关包括水上控制终端、水下输出终端、连接光纤。所述水上控制终端包括:单片机、光纤发送模块、光纤接收模块、供电模块、状态指示模块、按键开关和壳体。所述...
孙钦蕾韩小刚刘美全
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